평면 타겟 본딩은 특정 공정을 통해 타겟 블랭크(코팅 재료)를 백킹 플레이트에 안전하게 접합하여 평면 타겟 어셈블리를 형성하는 기술을 말하며, 물리 증착(PVD) 코팅 분야에서 널리 사용됩니다.
본딩 공정은 타겟의 수명, 증착 필름의 균일성 및 장비 안정성에 직접적인 영향을 미칩니다. 우수한 본딩 솔루션은 타겟이 고속 회전 중 동심성과 안정성을 유지하도록 보장하고, 물 또는 가스 누출을 방지하며, 안정적인 전기적 접촉을 보장하여 우수한 균일성을 가진 필름을 얻을 수 있도록 합니다.
l 장시간 스퍼터링 중 타겟의 균일한 소모를 보장하여 수명을 연장합니다.
l 필름 두께 및 조성의 균일성을 개선하여 불량률을 줄입니다.
l 빠른 교체, 짧은 다운타임, 생산 라인 활용률 향상
l 냉각수 누출을 방지하는 안정적인 밀봉으로 장비 다운타임을 방지합니다.