Dịch vụ liên kết mục tiêu phẳng cho trường sơn PVD

Liên kết mục tiêu phẳng đề cập đến công nghệ liên kết chắc chắn vật liệu phủ (vật liệu mục tiêu) với tấm nền thông qua một quy trình cụ thể để tạo thành một cụm mục tiêu phẳng, được sử dụng rộng rãi trong lĩnh vực phủ lắng đọng hơi vật lý (PVD).

Quy trình liên kết ảnh hưởng trực tiếp đến tuổi thọ của mục tiêu, độ đồng đều của màng lắng đọng và sự ổn định của thiết bị. Một giải pháp liên kết tốt đảm bảo mục tiêu duy trì đồng tâm và ổn định trong quá trình quay tốc độ cao, ngăn chặn rò rỉ nước hoặc khí, đảm bảo tiếp xúc điện ổn định và tạo ra các màng có độ đồng đều vượt trội.

Đặc điểm nổi bật của Liên kết mục tiêu phẳng

l Đảm bảo tiêu thụ mục tiêu đồng đều trong quá trình phún xạ kéo dài, kéo dài tuổi thọ của nó;

l Cải thiện độ đồng đều về độ dày và thành phần của màng, giảm tỷ lệ phế phẩm;

l Thay thế nhanh chóng, giảm thời gian ngừng hoạt động và tăng tỷ lệ sử dụng dây chuyền sản xuất;

l Niêm phong đáng tin cậy để ngăn ngừa rò rỉ nước làm mát, tránh thời gian ngừng hoạt động của thiết bị.