บริการผูกเป้าหมายแบบเรียบสําหรับสนามเคลือบ PVD

การยึดเป้าแบบระนาบ (Planar Target Bonding) หมายถึงเทคโนโลยีที่ยึดวัสดุเคลือบ (target blank) เข้ากับแผ่นรอง (backing plate) อย่างแน่นหนาด้วยกระบวนการเฉพาะ เพื่อสร้างชุดเป้าแบบระนาบ ซึ่งนิยมใช้กันอย่างแพร่หลายในสาขาการเคลือบแบบการระเหยสารด้วยไอทางกายภาพ (PVD)

กระบวนการยึดติดส่งผลโดยตรงต่ออายุการใช้งานของเป้า ความสม่ำเสมอของฟิล์มที่เคลือบ และความเสถียรของอุปกรณ์ โซลูชันการยึดติดที่ดีช่วยให้เป้ายังคงศูนย์กลางและเสถียรระหว่างการหมุนด้วยความเร็วสูง ป้องกันการรั่วไหลของน้ำหรือก๊าซ สร้างการสัมผัสทางไฟฟ้าที่เสถียร และให้ผลลัพธ์เป็นฟิล์มที่มีความสม่ำเสมอเหนือกว่า

คุณสมบัติที่โดดเด่นของการยึดเป้าแบบระนาบ

l รับประกันการสึกหรอของเป้าอย่างสม่ำเสมอระหว่างการสปัตเตอร์เป็นเวลานาน ยืดอายุการใช้งาน

l ปรับปรุงความสม่ำเสมอของความหนาและองค์ประกอบของฟิล์ม ลดอัตราของเสีย

l เปลี่ยนได้อย่างรวดเร็ว ลดเวลาหยุดทำงาน และเพิ่มอัตราการใช้ประโยชน์ของสายการผลิต

l การปิดผนึกที่เชื่อถือได้เพื่อป้องกันการรั่วไหลของน้ำหล่อเย็น หลีกเลี่ยงการหยุดทำงานของอุปกรณ์