| Markenbezeichnung: | APG |
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Zink-Zinnoxid (ZTO) Targetmaterial ist ein transparentes leitfähiges Oxid-Target, das hauptsächlich aus Zinkoxid (ZnO) und Zinnoxid (SnO₂) besteht. Es kombiniert hohe optische Transparenz mit ausgezeichneter elektrischer Leitfähigkeit und gilt als ideale Alternative zu ITO (Indium-Zinnoxid). ZTO-Filme weisen hervorragende optische und elektrische Eigenschaften sowie chemische Stabilität auf und werden häufig in Dünnschichtabscheideverfahren für Display-Panels, photovoltaische Geräte und Touch-Anwendungen eingesetzt.
l Hohe Lichtdurchlässigkeit
Mit ZTO-Targets abgeschiedene Filme können eine sichtbare Lichtdurchlässigkeit von über 85 % bis 90 % erreichen. Hohe optische Transparenz wird auch bei erhöhter Filmdicke beibehalten, was eine ausreichende Lichteinstrahlung für Displays und photovoltaische Geräte gewährleistet und somit die Helligkeit verbessert und die photoelektrische Umwandlungseffizienz steigert.
l Ausgezeichnete Leitfähigkeit (niedriger Flächenwiderstand)
Durch präzise Steuerung des ZnO/SnO₂-Verhältnisses und der Abscheideparameter können ZTO-Filme stabile spezifische Widerstände im Bereich von 10⁻³ Ω·cm erreichen. Dies erfüllt die strengen Anforderungen an geringen Widerstand von Touch-Panels, transparenten Elektroden und Verbindungsschichten und ermöglicht eine schnelle Signalübertragung und eine verbesserte Empfindlichkeit der Geräte.
l Dichte und stabile Filmstruktur
Durch Sputtern abgeschiedene ZTO-Filme weisen eine hohe Dichte und starke Haftung auf. Sie sind beständig gegen Feuchtigkeit, Hitze, Säuren, Laugen und mechanischen Abrieb, mit minimaler Verschlechterung der elektrischen und optischen Leistung im Langzeitbetrieb, was eine hohe Zuverlässigkeit gewährleistet.
l Potenzial für flexible Anwendungen
Die ZTO-Filme behalten eine ausgezeichnete elektrische und optische Leistung ohne Rissbildung bei, wenn sie auf flexiblen Substraten abgeschieden werden, was sie für aufkommende Anwendungen wie biegbare und rollbare flexible Displays und flexible photovoltaische Geräte sehr gut geeignet macht.
l Display-Panels
l Touchscreen-Technologie
ZTO-Targets können herkömmliches ITO als transparente leitfähige Filme in Touch-Panels für Smartphones, Tablets und Automobil-Displays ersetzen. Ihr geringer Flächenwiderstand und ihre hohe Transparenz sorgen für höhere Berührungsempfindlichkeit und schnellere Reaktion, insbesondere bei großflächigen Touchscreens.
l Photovoltaikindustrie
l Flexible Elektronik
ZTO-Targets eignen sich für flexible Substrate wie PET und PI. Sie werden als transparente leitfähige Filme oder Halbleiterschichten in Wearables, flexiblen Displays, faltbaren Bildschirmen und flexiblen Sensoren verwendet. Ihre ausgezeichnete mechanische Flexibilität gewährleistet eine stabile elektrische und optische Leistung auch nach wiederholtem Biegen.
l Herstellung optischer Geräte
Die ZTO-Targets liefern dünne Filme mit abstimmbarem Brechungsindex, hoher Transparenz und starker Haftung in der Herstellung von optischen Linsen, Filtern und Antireflexbeschichtungen. Diese Filme optimieren die Lichtübertragung und -reflexion und verbessern gleichzeitig die Korrosions- und Verschleißfestigkeit optischer Komponenten.