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Il bersaglio di ossido di niobio è un importante bersaglio ceramico di ossido funzionale comunemente utilizzato nella sputtering, nella deposizione laser pulsata (PLD) e in altri processi di deposizione di film sottili. Questo bersaglio ha una buona stabilità chimica e proprietà elettriche, oltre a un'eccellente trasparenza e proprietà antiriflesso.
l Stabilità Chimica
L'ossido di niobio dimostra un'eccezionale stabilità a temperatura ambiente, mostrando una reazione minima con acidi e basi. Ciò lo rende ideale per applicazioni in ambienti chimicamente corrosivi, mantenendo prestazioni stabili in condizioni chimiche difficili.
l Prestazioni Elettrochimiche
L'ossido di niobio presenta un'eccellente stabilità elettrochimica e proprietà di trasporto elettronico, rendendolo un materiale ideale per dispositivi di accumulo di energia come batterie e condensatori.
l Eccezionali Proprietà Ottiche
Il bersaglio di ossido di niobio ha un elevato indice di rifrazione e caratteristiche di bassa dispersione, rendendolo un materiale ideale per la produzione di elementi ottici come filtri e rivestimenti per lenti.
l Proprietà Isolanti Elettriche
L'ossido di niobio è un eccellente isolante elettrico con un'elevata costante dielettrica, che lo rende particolarmente importante nelle industrie microelettroniche e dei semiconduttori.
l Dispositivi Elettronici
L'applicazione principale del bersaglio di ossido di niobio è nei dispositivi elettronici, sfruttando l'elevata costante dielettrica (ε≈25-40), la bassa densità di corrente di dispersione e le proprietà semiconduttrici dei film di Nb₂O₅.
l Ottica
I film di Nb₂O₅ hanno un elevato indice di rifrazione (1,9-2,3 nell'intervallo della luce visibile), un'elevata trasparenza (≥90%) e stabilità ottica. L'elevato indice di rifrazione e la buona trasparenza ottica dell'ossido di niobio rendono i film ampiamente utilizzati in guide d'onda ottiche, rivestimenti antiriflesso e rivelatori fotoelettrici, migliorando significativamente le prestazioni ottiche e l'efficienza dei dispositivi.
l Memoria Dinamica ad Accesso Casuale (DRAM)
Il bersaglio di ossido di niobio viene utilizzato come strato dielettrico ad alta costante dielettrica nelle celle di memoria DRAM, sostituendo i tradizionali SiO₂ e HfO₂, consentendo una maggiore capacità nella stessa area e ottenendo un'integrazione di memoria ad alta densità.