Цель для распыливания молибдена

Мишень из молибдена, восходящая звезда в области высокопроизводительных материалов

С непрерывным развитием материаловедения мишени из молибдена стали ключевым фактором во многих областях. Мишени из молибдена имеют решающее значение в полупроводниковой, дисплейной, фотоэлектрической и высокотехнологичной производственной отраслях, обеспечивая уникальные эксплуатационные преимущества, способствующие промышленным инновациям.

Отличные свойства мишеней из молибдена

l Сверхвысокая чистота

Мишени из молибдена обычно имеют высокую чистоту ≥99,95%, некоторые достигают 5N (99,999%). Чрезвычайно низкое содержание примесей, таких как Fe и Ni <50ppm, и O <200ppm, обеспечивает стабильные электрические характеристики напыляемых пленок, закладывая прочную основу для высокоточных применений, таких как производство полупроводниковых чипов.

l Высокотемпературная стойкость к окислению

При сверхвысокой температуре плавления 2623℃ прирост веса от окисления на воздухе при 1000℃ составляет <0,1 мг/см² (100 часов). Например, фотоэлектрическая компания, использующая мишени из Mo для подготовки пленок TCO, не показала отказов после 500 часов испытаний при 85℃/85% относительной влажности, демонстрируя выдающуюся стабильность в условиях высоких температур и агрессивных сред.

l Точная структура и отличная проводимость

Плотность: 10,28 г/см³ (99% от теоретической), размер зерна <50 мкм, плоскостность ≤0,05 мм (мишень Φ100 мм). Отличная проводимость высокочистого Mo (удельное сопротивление 5,2 Ом·см) обеспечивает эффективную передачу тока во время напыления, повышая эффективность напыления. Точная структурная конструкция совместима с высокоточным оборудованием для напыления, обеспечивая точность и однородность покрытия.

 Применение мишеней из молибдена

l Полупроводниковая промышленность

Мишени из молибдена используются в полупроводниковой промышленности для изготовления нижних электродов для металлокремниевых пластин, обеспечивая стабильный ток и гарантируя качество пластин.

l Дисплейные панели

Материал мишени из молибдена используется в жидкокристаллических дисплеях (ЖК-дисплеях) для улучшения яркости, контрастности, цветопередачи и срока службы.

l Фотоэлектрическая промышленность

Мишени из молибдена используются в производстве солнечных элементов в качестве электродных материалов, повышая эффективность преобразования.

l Низкоэмиссионное стекло

Мишени из молибдена используются в производстве ЖК-дисплеев STN/TN/TFT и низкоэмиссионного стекла, подходящих для различных систем нанесения покрытий.