モ・メタル・スプッティング・ターゲット モリブデン・スプッティング・ターゲット

高性能材料の明星であるモリブデン標的

材料科学の継続的な進歩とともに,モリブデンターゲットは様々な分野における主要なドライバーとして出現しました.モリブデンターゲットは半導体,ディスプレイ,太陽光発電などで重要です.,産業革新を推進するユニークなパフォーマンス優位性をもたらします

モリブデン 標的 の 優れた 特質

わかった 超高純度

モリブデンターゲットは通常,高純度 ≥99.95%で,5N (99.999%) に達する.FeとNi <50ppm,O <200ppmなどの非常に低い不純度,スプッターフィルムの安定した電気性能を保証する半導体チップ製造などの高精度アプリケーションの堅牢な基盤を築く.

わかった 高温酸化耐性

2623°Cの超高溶融点では,1000°Cの空気中の酸化による体重増加は <0.1mg/cm2 (100時間) です.TCOフィルムを調製するためにMoターゲットを使用した太陽光発電会社で,85°C/85%RHのテストで500時間後に失敗はなかった.高温や厳しい環境で優れた安定性を示しています

わかった 精密 な 構造 と 優良 な 導電 性

密度: 10.28 g/cm3 (理論上99%),粒の大きさは <50μm,平らさは ≤0.05mm (Φ100mm目標). 高純度Moの優れた導電性 (抵抗性5.2 μΩ·cm) は,スプッター処理中に効率的な電流伝送を保証します.精密な構造設計は,高精度なスプッター装置と互換性があり,コーティングの精度と均一性を保証します.

 モリブデン・ターゲットの応用

わかった 半導体産業

モリブデンは半導体産業で金属シリコンウエファー用の底電極を準備するために使用され,安定した電流を提供し,ウエファー品質を確保する.

わかった ディスプレイパネル

モリブデンの標的材料は,明るさ,コントラスト,色,寿命の向上のために液晶ディスプレイ (LCD) に使用されます.

わかった フォトウオルタキック産業

モリブデンは電極材料として太陽電池の製造に使用され,変換効率を向上させる.

わかった 低放射性ガラス

モリブデンの標的は,STN/TN/TFT-LCDおよび低放射性ガラス,様々なコーティングシステムに適した製造に使用される.