Mục tiêu phún xạ kim loại Mo Molybdenum

Mục tiêu Molybdenum, một ngôi sao đang lên trong vật liệu hiệu suất cao

Với sự tiến bộ không ngừng của khoa học vật liệu, các mục tiêu Molybdenum đã nổi lên như một động lực chính trong nhiều lĩnh vực. Các mục tiêu Molybdenum rất quan trọng trong các lĩnh vực bán dẫn, màn hình, quang điện và sản xuất cao cấp, mang lại những lợi thế hiệu suất độc đáo thúc đẩy sự đổi mới công nghiệp.

Các đặc tính tuyệt vời của mục tiêu Molybdenum

l Độ tinh khiết cực cao

Các mục tiêu Molybdenum thường có độ tinh khiết cao ≥99,95%, với một số đạt 5N (99,999%). Hàm lượng tạp chất cực thấp, chẳng hạn như Fe và Ni <50ppm, và O <200ppm, đảm bảo hiệu suất điện ổn định của màng phún xạ, tạo nền tảng vững chắc cho các ứng dụng có độ chính xác cao như sản xuất chip bán dẫn.

l Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao

Với điểm nóng chảy cực cao là 2623℃, mức tăng trọng lượng do oxy hóa trong không khí ở 1000℃ là <0,1mg/cm² (100 giờ). Ví dụ, một công ty quang điện sử dụng mục tiêu Mo để chuẩn bị màng TCO cho thấy không có lỗi sau 500 giờ kiểm tra ở 85℃/85% RH, chứng tỏ độ ổn định vượt trội trong môi trường nhiệt độ cao và khắc nghiệt.

l Cấu trúc chính xác và khả năng dẫn điện tuyệt vời

Mật độ: 10,28 g/cm³ (99% lý thuyết), kích thước hạt <50µm, độ phẳng ≤0,05mm (mục tiêu Φ100mm). Khả năng dẫn điện tuyệt vời của Mo có độ tinh khiết cao (điện trở suất 5,2 μΩ·cm) đảm bảo truyền tải dòng điện hiệu quả trong quá trình phún xạ, cải thiện hiệu quả phún xạ. Thiết kế cấu trúc chính xác tương thích với thiết bị phún xạ có độ chính xác cao, đảm bảo độ chính xác và độ đồng đều của lớp phủ.

 Ứng dụng của mục tiêu Molybdenum

l Ngành công nghiệp bán dẫn

Các mục tiêu Molybdenum được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn để chuẩn bị các điện cực dưới cho các tấm wafer silicon kim loại, cung cấp dòng điện ổn định và đảm bảo chất lượng wafer.

l Màn hình hiển thị

Vật liệu mục tiêu Molybdenum được sử dụng trong màn hình tinh thể lỏng (LCD) để tăng cường độ sáng, độ tương phản, màu sắc và tuổi thọ.

l Ngành công nghiệp quang điện

Các mục tiêu Molybdenum được sử dụng trong sản xuất pin mặt trời làm vật liệu điện cực, cải thiện hiệu suất chuyển đổi.

l Kính phát xạ thấp

Các mục tiêu Molybdenum được sử dụng trong sản xuất STN/TN/TFT-LCD và kính phát xạ thấp, phù hợp với nhiều hệ thống phủ khác nhau.