Hassas Su Kanalı Sputtering Hedef Destek Plakası Bağlama Yapışkanlığı >98%

Su kanalı destek plakası, içinde hassas bir su kanalı yapısına sahip, püskürtme hedefinin arkasına monte edilen bir soğutma ve destek bileşenidir. Soğutma suyunu dolaştırarak püskürtme işlemi sırasında oluşan ısıyı verimli bir şekilde uzaklaştırır, hedef ve ekipman sıcaklığının stabilitesini korur, termal deformasyonu veya çatlamayı önler, böylece hedefin ömrünü uzatır ve ince film biriktirme işleminin stabilitesini ve tutarlılığını artırır.

Yüksek güçlü magnetron püskürtme, sürekli geniş alan biriktirme ve uzatılmış görev döngüleri için su kanalı destek plakası kritik bir destek bileşenidir. Yüksek saflıkta bakır veya özel alüminyum alaşımlarından üretilen bu arka plakalar, zorlu endüstriyel kullanımlar için gerekli olan mekanik mukavemeti ve korozyon direncini korurken üstün termal yönetim sağlar.

Su Kanalı Destek Plakasının Üstün Özellikleri

l APG Hedef, döner hedeflerin yapıştırılması için özel çekirdek teknolojisini kullanır. Bu gelişmiş işlem, indiyum tüketimini önemli ölçüde azaltırken üstün arayüz yapıştırma gücü sağlar. Dahası, teknolojimiz hem elektriksel hem de termal iletkenliği artırarak, çalışma sırasında hedef ayrılması ve termal çatlama gibi yaygın endüstri zorluklarını etkili bir şekilde ortadan kaldırır.

l Bu yapıştırma teknolojisi ile üretilen hedefler, yüksek güçlü püskürtme gereksinimlerini karşılayabilir. AZO döner hedeflerimiz, >15KW/M püskürtme gücü vaat ediyor.

l Gelişmiş yapıştırma teknolojisi, kullanılan indiyum miktarını etkili bir şekilde azaltabilir, bu da hedeflerin maliyetini düşürür.

l Müşteriler için su kanalı bakır destek plakaları tasarlayıp üretiyor ve yapıştırma hizmetleri sunuyoruz.