Résistance à la corrosion du matériau cible à la pulvérisation de zirconium Zr de haute pureté

Les cibles de zirconium sont des cibles de pulvérisation traitées à partir de zirconium (Zr) métallique de haute pureté.et bonne conductivité thermiqueIls sont largement utilisés dans les semi-conducteurs, les revêtements optiques et les revêtements fonctionnels.il peut former de manière stable des films de haute qualité dans des environnements de pulvérisation sous vide.

Excellentes propriétés des cibles en zirconium

Je... Une pureté typiquement de 99,5% ∼ 99,9%, assurant des performances électriques et optiques stables des films.

Je... Point de fusion autour de 1855°C, maintien de la stabilité dans des conditions de traitement à haute température.

Je... Excellente résistance à la corrosion:Forte résistance aux acides, aux alcalis, aux sels et à la plupart des milieux chimiques, adaptée aux environnements difficiles.

Je... Section transversale à faible absorption de neutrons:Il est important dans l'industrie nucléaire, en particulier pour les composants des réacteurs et leurs revêtements.

Je... Une forte affinité pour l'oxygène:Combine facilement avec l'oxygène lors de la pulvérisation pour produire des films d'oxyde de zirconium (ZrO2) de haute qualité, utilisés dans les revêtements optiques, les couches isolantes et autres applications.

 Applications des cibles au zirconium

Je... Fabrication de semi-conducteurs

Utilisé pour produire des couches de barrière, des couches diélectriques ou des matériaux d'électrodes, améliorant les performances et la stabilité du dispositif.

Je... Fabrication d'appareils optiques

Utilisé pour produire des films à haut indice de réfraction, tels que des filtres optiques et des revêtements antireflet.

Je... Les revêtements durs

Souvent combiné avec des nitrides (ZrN) pour produire des revêtements résistants à l'usure et à la corrosion, utilisés pour les revêtements d'outils et les revêtements décoratifs.

Je... Industrie nucléaire

En raison de la faible absorption des neutrons par le zirconium, les matériaux en zirconium et leurs films ont des applications spéciales dans les composants des réacteurs nucléaires.