Высокочистый материал мишени для распыления Zr циркония, коррозионная стойкость

Мишени из циркония — это мишени для напыления, изготовленные из циркония (Zr) высокой чистоты. Они обладают низким поглощением водорода, высокой температурой плавления (1855°C), отличной коррозионной стойкостью и хорошей теплопроводностью. Они широко используются в производстве полупроводников, оптических покрытий и функциональных покрытий. Благодаря превосходным физическим и химическим свойствам циркония и его сильному сродству к кислороду, он может стабильно образовывать высококачественные пленки в условиях вакуумного напыления.

Превосходные свойства циркониевых мишеней

l Типичная чистота 99,5% – 99,9%, обеспечивающая стабильные электрические и оптические характеристики пленок.

l Температура плавления около 1855°C, обеспечивающая стабильность в условиях высокотемпературной обработки.

l Отличная коррозионная стойкость:Высокая стойкость к кислотам, щелочам, солям и большинству химических сред, подходит для агрессивных сред.

l Низкое сечение поглощения нейтронов:Важно в ядерной промышленности, особенно для компонентов реакторов и их покрытий.

l Сильное сродство к кислороду:Легко соединяется с кислородом во время напыления для получения высококачественных пленок оксида циркония (ZrO₂), используемых в оптических покрытиях, диэлектрических слоях и других областях.

 Применение циркониевых мишеней

l Производство полупроводников

Используются для производства барьерных слоев, диэлектрических слоев или электродных материалов, повышая производительность и стабильность устройств.

l Производство оптических устройств

Используются для производства пленок с высоким показателем преломления, таких как оптические фильтры и просветляющие покрытия.

l Твердые покрытия

Часто в сочетании с нитридами (ZrN) для получения износостойких и коррозионностойких покрытий, используемых для покрытий инструментов и декоративных покрытий.

l Ядерная промышленность

Благодаря низкому поглощению нейтронов цирконием, материалы из циркония и их пленки имеют особое применение в компонентах ядерных реакторов.