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I bersagli di zirconio sono bersagli di sputtering elaborati a partire da metallo di zirconio (Zr) di alta purezza.e buona conduttività termicaSono ampiamente utilizzati nei semiconduttori, nei rivestimenti ottici e nei rivestimenti funzionali.può formare stabilmente pellicole di alta qualità in ambienti di sputtering a vuoto.
Io... Tipicamente purezza del 99,5% ∼ 99,9%, garantendo prestazioni elettriche e ottiche stabili dei film.
Io... Punto di fusione intorno a 1855°C, mantenendo la stabilità in condizioni di lavorazione ad alta temperatura.
Io... Eccellente resistenza alla corrosione:Forte resistenza agli acidi, agli alcali, ai sali e alla maggior parte dei mezzi chimici, adatta per ambienti difficili.
Io... Sezione trasversale a basso assorbimento di neutroni:Importante nell'industria nucleare, in particolare per i componenti dei reattori e i loro rivestimenti.
Io... Forte affinità per l' ossigeno:Si combina facilmente con l'ossigeno durante lo sputtering per produrre film di ossido di zirconio (ZrO2) di alta qualità, utilizzati in rivestimenti ottici, strati isolanti e altre applicazioni.
Applicazioni di bersagli di zirconio
Io... Fabbricazione di semiconduttori
Utilizzato per produrre strati di barriera, strati dielettrici o materiali per elettrodi, migliorando le prestazioni e la stabilità del dispositivo.
Io... Fabbricazione di apparecchi ottici
Utilizzato per la produzione di pellicole ad alto indice di rifrazione, quali filtri ottici e rivestimenti antiriflesso.
Io... Rivestimenti duri
Spesso combinato con nitruri (ZrN) per produrre rivestimenti resistenti all'usura e alla corrosione, utilizzati per rivestimenti per utensili e rivestimenti decorativi.
Io... Industria nucleare
A causa del basso assorbimento dei neutroni da parte dello zirconio, i materiali di zirconio e le loro pellicole hanno applicazioni speciali nei componenti dei reattori nucleari.