Ikatan Perekat Pelat Pendukung Target Sputtering Saluran Air Presisi ＞98%

Pelat pendukung saluran air adalah komponen pendingin dan pendukung yang dipasang di belakang target sputtering, menampilkan struktur saluran air presisi di dalamnya. Komponen ini secara efisien menghilangkan panas yang dihasilkan selama proses sputtering dengan mengalirkan air pendingin, menjaga stabilitas suhu target dan peralatan, mencegah deformasi termal atau keretakan, sehingga memperpanjang masa pakai target dan meningkatkan stabilitas serta konsistensi proses deposisi film tipis.

Untuk sputtering magnetron berdaya tinggi, deposisi area luas berkelanjutan, dan siklus kerja yang diperpanjang, pelat pendukung saluran air adalah komponen pendukung yang krusial. Dibuat dari tembaga dengan kemurnian tinggi atau paduan aluminium khusus, pelat belakang ini memberikan manajemen termal yang unggul sambil mempertahankan kekuatan mekanik dan ketahanan korosi yang diperlukan untuk penggunaan industri yang ketat.

Fitur Unggulan Pelat Pendukung Saluran Air

l Target APG menggunakan teknologi inti eksklusif untuk pengikatan target putar. Proses canggih ini secara signifikan mengurangi konsumsi indium sambil memberikan kekuatan ikatan antarmuka yang unggul. Selain itu, teknologi kami meningkatkan konduktivitas listrik dan termal, secara efektif menghilangkan tantangan umum industri seperti delaminasi target dan keretakan termal selama operasi.

l Target yang diproduksi menggunakan teknologi pengikatan ini dapat memenuhi persyaratan untuk sputtering berdaya tinggi. Target putar AZO kami menjanjikan daya sputtering >15KW/M.

l Teknologi pengikatan canggih dapat secara efektif mengurangi jumlah indium yang digunakan, yang menurunkan biaya target.

l Kami merancang dan memproduksi pelat pendukung tembaga saluran air untuk pelanggan dan menyediakan layanan pengikatan.