ความละเอียดของช่องน้ํา Sputtering เป้าหมายแผ่นรองรับการผูกพัน > 98%

แผ่นรองหลังช่องน้ำเป็นส่วนประกอบระบายความร้อนและรองรับที่ติดตั้งอยู่ด้านหลังของเป้าสปัตเตอร์ มีโครงสร้างช่องน้ำที่แม่นยำอยู่ภายใน ช่วยระบายความร้อนที่เกิดขึ้นระหว่างกระบวนการสปัตเตอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพโดยการหมุนเวียนน้ำหล่อเย็น รักษาเสถียรภาพของอุณหภูมิเป้าและอุปกรณ์ ป้องกันการเสียรูปหรือแตกร้าวจากความร้อน จึงยืดอายุการใช้งานของเป้าและเพิ่มความเสถียรและความสม่ำเสมอของกระบวนการเคลือบฟิล์มบาง

สำหรับแมกนีตรอนสปัตเตอร์กำลังสูง การเคลือบพื้นที่ขนาดใหญ่ต่อเนื่อง และรอบการทำงานที่ยาวนาน แผ่นรองหลังช่องน้ำเป็นส่วนประกอบรองรับที่สำคัญ แผ่นรองหลังเหล่านี้ผลิตจากทองแดงความบริสุทธิ์สูงหรือโลหะผสมอลูมิเนียมพิเศษ ให้การจัดการความร้อนที่เหนือกว่า ในขณะที่ยังคงความแข็งแรงเชิงกลและความต้านทานการกัดกร่อนที่จำเป็นสำหรับการใช้งานในอุตสาหกรรมที่เข้มงวด

คุณสมบัติที่โดดเด่นของแผ่นรองหลังช่องน้ำ

l เป้า APG ใช้เทคโนโลยีหลักที่เป็นกรรมสิทธิ์สำหรับการเชื่อมต่อเป้าแบบหมุน กระบวนการขั้นสูงนี้ช่วยลดการใช้ อินเดียม ได้อย่างมาก ในขณะที่ให้ความแข็งแรงในการเชื่อมต่อระหว่างชั้นที่เหนือกว่า นอกจากนี้ เทคโนโลยีของเรายังช่วยเพิ่มทั้งการนำไฟฟ้าและความร้อน ซึ่งช่วยขจัดปัญหาทั่วไปในอุตสาหกรรม เช่น การหลุดลอกของเป้าและการแตกร้าวจากความร้อนระหว่างการทำงาน

l เป้าที่ผลิตโดยใช้เทคโนโลยีการเชื่อมต่อนี้นสามารถตอบสนองความต้องการสำหรับสปัตเตอร์กำลังสูง เป้าแบบหมุน AZO ของเราให้กำลังสปัตเตอร์ >15KW/M

l เทคโนโลยีการเชื่อมต่อขั้นสูงสามารถลดปริมาณ อินเดียม ที่ใช้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ ซึ่งช่วยลดต้นทุนของเป้า

l เราออกแบบและผลิตแผ่นรองหลังทองแดงช่องน้ำสำหรับลูกค้า และให้บริการเชื่อมต่อ