Keo dán tấm nền mạ phún xạ kênh nước chính xác ＞98%

Tấm đế có kênh nước là một bộ phận làm mát và hỗ trợ được lắp đặt ở mặt sau của mục tiêu phún xạ, có cấu trúc kênh nước chính xác bên trong. Nó loại bỏ hiệu quả nhiệt lượng sinh ra trong quá trình phún xạ bằng cách lưu thông nước làm mát, duy trì sự ổn định nhiệt độ của mục tiêu và thiết bị, ngăn ngừa biến dạng nhiệt hoặc nứt, do đó kéo dài tuổi thọ của mục tiêu và nâng cao sự ổn định và nhất quán của quá trình lắng đọng màng mỏng.

Đối với phún xạ magnetron công suất cao, lắng đọng diện tích lớn liên tục và chu kỳ làm việc kéo dài, tấm đế có kênh nước là một bộ phận hỗ trợ quan trọng. Được chế tạo từ đồng có độ tinh khiết cao hoặc hợp kim nhôm chuyên dụng, các tấm đế này mang lại khả năng quản lý nhiệt vượt trội đồng thời duy trì độ bền cơ học và khả năng chống ăn mòn cần thiết cho các ứng dụng công nghiệp khắt khe.

Các tính năng nổi bật của tấm đế có kênh nước

l APG Target sử dụng công nghệ cốt lõi độc quyền để liên kết các mục tiêu quay. Quy trình tiên tiến này giúp giảm đáng kể lượng indium tiêu thụ đồng thời mang lại sức mạnh liên kết giao diện vượt trội. Hơn nữa, công nghệ của chúng tôi nâng cao cả độ dẫn điện và độ dẫn nhiệt, loại bỏ hiệu quả các thách thức phổ biến trong ngành như tách lớp mục tiêu và nứt do nhiệt trong quá trình hoạt động.

l Các mục tiêu được sản xuất bằng công nghệ liên kết này có thể đáp ứng các yêu cầu về phún xạ công suất cao. Các mục tiêu quay AZO của chúng tôi hứa hẹn công suất phún xạ >15KW/M.

l Công nghệ liên kết tiên tiến có thể giảm hiệu quả lượng indium được sử dụng, giúp giảm chi phí của mục tiêu.

l Chúng tôi thiết kế và sản xuất tấm đế đồng có kênh nước cho khách hàng và cung cấp dịch vụ liên kết.