| Markenbezeichnung: | APG |
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Kupfer-Nickel-Targets sind Legierungstargets aus hochreinem Kupfer und Nickel, die durch Präzisionsschmelzen, Walzen, Bearbeiten und andere Schritte unter Vakuum oder Schutzatmosphäre verarbeitet werden. Durch sorgfältige Kontrolle der Legierungszusammensetzung, des Verunreinigungsgehalts und der Mikrostruktur behalten sie die hervorragende elektrische und thermische Leitfähigkeit von Kupfer bei und integrieren gleichzeitig die hohe Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit von Nickel, was sie zu einem häufig verwendeten funktionellen Targetmaterial in verschiedenen Branchen macht.
l Hervorragende elektrische und thermische Leitfähigkeit
Hochreines Kupfer verleiht dem Target einen niedrigen spezifischen Widerstand und eine hohe Wärmeleitfähigkeit, wodurch sichergestellt wird, dass die abgeschiedenen Schichten unter Hochfrequenz- und Hochleistungsbedingungen eine stabile elektrische Leitfähigkeit und Wärmeableitung beibehalten, was sie ideal für Leistungsbauelemente und großflächige Substrate macht.
l Hohe Korrosions- und Verschleißfestigkeit
Nickel verbessert die Oxidations- und Korrosionsbeständigkeit des Targets und der Schicht, insbesondere bei hoher Luftfeuchtigkeit. Es bildet eine dichte Passivierungsschicht, die die Betriebslebensdauer sowohl der Schicht als auch des Bauelements erheblich verlängert.
l Dichte Schichten und hohe Haftung
Die gesputterten Schichten haben glatte Oberflächen, feine Partikel, gleichmäßige Dicke und ausgezeichnete Haftung, was zur Verbesserung der Ausbeute und Stabilität der Endprodukte beiträgt.
l Hervorragende mechanische Eigenschaften
Typischerweise weisen Kupfer-Nickel-Targets eine hohe Härte und Festigkeit auf, wodurch Stabilität und Haltbarkeit während des Sputterns erhalten bleiben, Verformungen und Beschädigungen durch das Sputtern reduziert werden und reibungslose Sputterprozesse gewährleistet werden.
Hauptanwendungen von Kupfer-Nickel-Targets
l Halbleiterfertigung
Kupfer-Nickel-Legierungstargets werden häufig zur Abscheidung wichtiger Metallschichten wie Verbindungsleitungen und Kontaktanschlüsse bei der Chipfertigung verwendet. Durch Magnetronsputtern oder PVD-Verfahren wird eine dichte und hochleitfähige Dünnschicht auf der Waferoberfläche gebildet, die effiziente und stabile elektrische Verbindungen zwischen den Schaltungen gewährleistet, um die Zuverlässigkeits- und Leistungsanforderungen fortschrittlicher Prozesse zu erfüllen.
l Displayindustrie
Kupfer-Nickel-Targets sind unerlässlich für die Herstellung von Elektroden- und Dünnschichttransistor (TFT)-Schichten in LCD- und OLED-Displays. Ihre gleichmäßige Abscheidung ermöglicht haftfeste, niederohmige Schichten, die die Reaktionsgeschwindigkeit, die Helligkeitsgleichmäßigkeit und die Gesamtbildqualität von Display-Panels erheblich verbessern.
l Photovoltaikindustrie
Kupfer-Nickel-Targets werden zur Abscheidung von Hochleistungs-Elektroden und Sperrschichten für kristalline Silizium- und Dünnschichtsolarzellen verwendet. Diese gesputterten Schichten bieten eine einzigartige Kombination aus hoher elektrischer Leitfähigkeit und überlegener Korrosionsbeständigkeit, was die Leistungsumwandlungseffizienz (PCE) direkt verbessert. Durch die Stabilisierung der Grenzflächenkontakte gewährleisten diese Schichten eine langfristige Betriebsstabilität und verlängern die Lebensdauer von Photovoltaikmodulen erheblich.
l Herstellung optischer Geräte
Kupfer-Nickel-Targets werden zur Abscheidung von Hochpräzisionsbeschichtungen auf Linsen und Filtern verwendet, die eine außergewöhnliche spektrale Kontrolle bieten. Durch die Modulation der Schichtdicke und der Abscheidungsparameter können Hersteller Reflexions-, Transmissions- und Absorptionsgrade präzise einstellen. Dieses Maß an technischer Genauigkeit ist für High-End-Optiksysteme, einschließlich Teleskopen, Mikroskopen und fortschrittlicher Telekommunikationsinfrastruktur, unerlässlich.