水道支柱板は,噴射標的の背面に設置された冷却およびサポート部品で,内部には精密な水道構造があります.循環冷却水によって,スプッティングプロセス中に発生した熱を効率的に除去する目標温度と装置の安定性を維持し,熱変形や破裂を防止する.目標の寿命を延長し,薄膜堆積プロセスの安定性と一貫性を向上させる.
高功率マグネトロン噴射,連続的な広域堆積,および延長された作業サイクルでは,水道支柱板は重要な支柱部品です.高純度銅または特殊アルミニウム合金から製造厳格な産業用に使用するために必要な機械的強度と耐腐蝕性を維持しながら,これらのバックプレートは優れた熱管理を提供します.
水道 の 支柱 板 の 顕著 な 特色
わかった APGターゲットは ローターターゲットの結合のために 独自のコア技術を活用していますこの先進的なプロセスは,優れたインターフェイス結合強度を提供しながら,インディアムの消費を大幅に削減しますさらに,当社の技術は 電気と熱伝導性を向上させ, 運用中にターゲットデラミナレーションや熱破裂などの 業界共通課題を効果的に排除します.
わかった この結合技術を用いて製造されたターゲットは,高功率のスプートリングの要件を満たすことができます.私たちのAZO回転ターゲットは, > 15KW / M のスプートリング力を約束します.
わかった 先進的な結合技術により インディウムの使用量を効果的に削減し 標的のコストを削減できます
わかった 顧客向けに 水道用の銅製の支柱板を設計・製造し,粘着サービスも提供しています