Заказчик / Планировщик / Ротационная медная цель для распыливания покрытия

Медная мишень высокой чистоты, заказные/плоские/вращающиеся медные мишени, поставщик медных мишеней для напыления методом распыления 

Физические свойства материалов напрямую определяют качество пленки и эффективность производства при вакуумном напылении методом распыления. Медные мишени, обладающие превосходной проводимостью и выдающейся теплопроводностью, стали «ключевым материалом» в высокотехнологичных производственных областях, таких как производство полупроводников, дисплейных панелей, фотоэлектрическая промышленность и силовые батареи. Их уникальные эксплуатационные преимущества не только обеспечивают стабильность и эффективность процесса распыления, но и придают покрытым продуктам превосходную функциональность и надежность.

 Основные преимущества медной мишени: чистота и размер зерна

l Сверхвысокая чистота, чрезвычайно низкое содержание примесей

Используя высокочистую электролитическую медь с чистотой от 99,9% (3N) до 99,9999% (6N) в качестве сырья, многоступенчатые процессы очистки (электролитическое рафинирование, зонная плавка) используются для строгого контроля примесей, таких как кислород, сера, железо и т. д., обеспечивая однородные и бездефектные распыленные пленки, соответствующие требованиям к производительности прецизионных электронных компонентов.

l Однородность размера зерна

Медные мишени демонстрируют плотно расположенные зерна с постоянной ориентацией (текстурой) при микроскопическом исследовании. Эта оптимизированная микроструктура обеспечивает высокую стабильность в процессе распыления и гарантирует однородное качество пленки.

l Превосходные физические свойства, стабильное распыление

Медь — красновато-оранжевый металл с температурой плавления 1083°C, плотностью 8,96 г/см³ и температурой кипения 2567 °C. Благодаря превосходной тепло- и электропроводности медные мишени способствуют быстрому отводу тепла при высокочастотном распылении. Это эффективно предотвращает деформацию или растрескивание, вызванные локальными термическими напряжениями, обеспечивая непрерывный, стабильный и высокопроизводительный процесс осаждения..

l Точное формование, высокая совместимость

Поддерживает изготовление на заказ различных спецификаций, таких как плоские мишени, вращающиеся мишени и мишени нестандартной формы, с точностью размеров, контролируемой в пределах ±0,1 мм. Шероховатость поверхности мишени составляет R_a ≤ 0,8 μm, что обеспечивает идеальную совместимость с основным оборудованием для распыления, таким как магнетронное распыление и ионно-лучевое распыление, уменьшая явления дугообразования во время распыления.

Основные области применения медной мишени

l Производство полупроводников

Медные мишени широко используются в слоях металлической межсоединения (например, в межсоединениях Cu) при производстве полупроводниковых чипов. Благодаря превосходной электро- и теплопроводности они эффективно снижают сопротивление и энергопотребление, что делает их незаменимым ключевым материалом в передовых процессах.

l Дисплейные панели

Медные мишени часто используются для формирования проводящих проводных слоев при производстве ЖК-дисплеев, OLED-дисплеев и других плоскопанельных дисплеев. Медь имеет более низкое сопротивление, что улучшает скорость отклика дисплея и энергоэффективность по сравнению с традиционными материалами.

l Фотоэлектрическая промышленность

Медные мишени играют критически важную роль в производстве тонкопленочных солнечных элементов CIGS (медь-индий-галлий-селенид). Используемые для формирования задних электродов и промежуточных проводящих слоев, они вносят значительный вклад в превосходную эффективность фотоэлектрического преобразования и долгосрочную стабильность устройства.

l Силовые батареи
Медные мишени также используются при нанесении покрытий методом распыления на электроды литиевых батарей, улучшая адгезию и проводимость электродов, помогая увеличить срок службы батареи и плотность энергии.