Custom / Planner / Rotary Cu Copper Target สําหรับการเคลือบกระจาย

เป้าทองแดงความบริสุทธิ์สูง, เป้าทองแดงแบบกำหนดเอง/แบบระนาบ/แบบหมุน, ผู้จำหน่ายเป้าทองแดงสำหรับการเคลือบแบบสปัตเตอริง

คุณสมบัติทางกายภาพของวัสดุเป็นตัวกำหนดคุณภาพของฟิล์มและประสิทธิภาพการผลิตในการเคลือบแบบสปัตเตอริงสุญญากาศโดยตรง เป้าทองแดงซึ่งมีคุณสมบัติการนำไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยมและการนำความร้อนที่โดดเด่น ได้กลายเป็น "วัสดุสำคัญ" ในอุตสาหกรรมการผลิตระดับสูง เช่น การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ แผงแสดงผล อุตสาหกรรมเซลล์แสงอาทิตย์ และแบตเตอรี่กำลัง ข้อได้เปรียบด้านประสิทธิภาพที่เป็นเอกลักษณ์ไม่เพียงแต่รับประกันความเสถียรและประสิทธิภาพของกระบวนการสปัตเตอริงเท่านั้น แต่ยังมอบฟังก์ชันการทำงานและความน่าเชื่อถือที่ยอดเยี่ยมให้กับผลิตภัณฑ์ที่เคลือบอีกด้วย

 ข้อได้เปรียบหลักของเป้าทองแดง: ความบริสุทธิ์และขนาดเกรน

l ความบริสุทธิ์สูงพิเศษ, สิ่งเจือปนต่ำมาก

ใช้วัตถุดิบทองแดงอิเล็กโทรไลต์ความบริสุทธิ์สูงตั้งแต่ 99.9% (3N) ถึง 99.9999% (6N) กระบวนการทำให้บริสุทธิ์หลายขั้นตอน (การกลั่นด้วยไฟฟ้า, การกลั่นแบบโซน) ถูกนำมาใช้เพื่อควบคุมสิ่งเจือปน เช่น ออกซิเจน, ซัลเฟอร์, เหล็ก ฯลฯ อย่างเข้มงวด เพื่อให้มั่นใจว่าฟิล์มที่สปัตเตอร์มีความสม่ำเสมอและปราศจากข้อบกพร่อง ซึ่งตรงตามข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพของส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความแม่นยำ

l ความสม่ำเสมอของขนาดเกรน

เป้าทองแดงแสดงผลึกที่จัดเรียงตัวแน่นด้วยทิศทางที่สม่ำเสมอ (พื้นผิว) ภายใต้การตรวจสอบด้วยกล้องจุลทรรศน์ โครงสร้างจุลภาคที่ปรับให้เหมาะสมนี้ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรสูงในระหว่างกระบวนการสปัตเตอริงและรับประกันคุณภาพฟิล์มที่สม่ำเสมอ

l คุณสมบัติทางกายภาพที่ยอดเยี่ยม, การสปัตเตอริงที่เสถียร

ทองแดงเป็นโลหะสีส้มอมแดง มีจุดหลอมเหลว 1083°C, ความหนาแน่น 8.96g/cm³และจุดเดือด 2567 °C เป้าทองแดงมีคุณสมบัติการนำความร้อนและไฟฟ้าที่เหนือกว่า ช่วยให้การกระจายความร้อนอย่างรวดเร็วในระหว่างการสปัตเตอริงความถี่สูง สิ่งนี้ช่วยป้องกันการเสียรูปหรือการแตกร้าวที่เกิดจากความเค้นความร้อนเฉพาะที่ได้อย่างมีประสิทธิภาพ ทำให้มั่นใจได้ถึงกระบวนการเคลือบที่ต่อเนื่อง เสถียร และให้ผลผลิตสูง

l การขึ้นรูปที่แม่นยำ, ความเข้ากันได้สูง

รองรับการปรับแต่งข้อกำหนดต่างๆ เช่น เป้าแบบระนาบ, เป้าแบบหมุน และรูปทรงที่กำหนดเอง โดยควบคุมความแม่นยำของขนาดภายใน ±0.1 มม. ความหยาบของพื้นผิวเป้าคือ R_a ≤ 0.8μm เข้ากันได้ดีกับอุปกรณ์สปัตเตอริงกระแสหลัก เช่น สปัตเตอริงแบบแม่เหล็กและสปัตเตอริงแบบลำแสงไอออน ช่วยลดปรากฏการณ์อาร์คระหว่างการสปัตเตอริง

สาขาการใช้งานหลักของเป้าทองแดง

l การผลิตเซมิคอนดักเตอร์

เป้าทองแดงถูกนำมาใช้อย่างแพร่หลายในชั้นเชื่อมต่อโลหะ (เช่น การเชื่อมต่อ Cu) ในการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยคุณสมบัติการนำไฟฟ้าและความร้อนที่เหนือกว่า ช่วยลดความต้านทานและการใช้พลังงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ ทำให้เป็นวัสดุสำคัญที่ขาดไม่ได้ในกระบวนการขั้นสูง

l แผงแสดงผล

เป้าทองแดงมักใช้ในการสร้างชั้นสายไฟนำไฟฟ้าในการผลิตจอ LCD, OLED และจอแบนอื่นๆ ทองแดงมีความต้านทานต่ำกว่า ซึ่งช่วยปรับปรุงความเร็วในการตอบสนองของจอแสดงผลและประสิทธิภาพการใช้พลังงานเมื่อเทียบกับวัสดุแบบดั้งเดิม

l อุตสาหกรรมเซลล์แสงอาทิตย์

เป้าทองแดงมีบทบาทสำคัญในการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์แบบฟิล์มบางชนิด CIGS (Copper Indium Gallium Selenide) ใช้ในการสร้างขั้วไฟฟ้าด้านหลังและชั้นนำไฟฟ้ากลาง มีส่วนช่วยอย่างมากต่อประสิทธิภาพการแปลงแสงเป็นไฟฟ้าที่เหนือกว่าและความเสถียรของอุปกรณ์ในระยะยาว

l แบตเตอรี่กำลัง
เป้าทองแดงยังใช้ในการเคลือบแบบสปัตเตอริงของขั้วไฟฟ้าแบตเตอรี่ลิเธียม ช่วยเพิ่มการยึดเกาะและการนำไฟฟ้าของขั้วไฟฟ้า ช่วยปรับปรุงอายุการใช้งานของแบตเตอรี่และความหนาแน่นของพลังงาน