Высокочистый мишень для напыления кремния для производства полупроводников  

Целевой материал кремния высокой чистоты: основной материал для осаждения тонкой пленки

Целевой материал кремния используется в процессах физического отложения пара (PVD), в основном для отложения средних слоев, таких как оксид кремния, нитрид кремния и гидрид кремния.Он может быть разделен на кристаллический кремний и HSi типыЦели кремния обычно темно-серого цвета с полуметаллическим внешним видом и плотностью около 2,33 г / см3. Точка плавления кремния составляет 1414 ° C, а точка кипения 3265 ° C.Кремний имеет высокий коэффициент теплопроводности (149 W·m−1·K−1) и отличную теплопроводностьКроме того, кремний имеет хорошую твердость, оптические свойства, износостойкость и отличную коррозионную устойчивость.

Отличные свойства кремниевого целевого материала:

Я... Высокая чистота обеспечивает стабильную тонкую пленку

Кристаллический кремний имеет чистоту 99,999%, а чистота HSi 99,99%

Я... Отличная однородность и плотность тонкой пленки

Кремниевые цели имеют высокую эффективность распыливания и совместимы с различным оборудованием для вакуумного покрытия в процессе ПВД.Кремниевые атомы хорошо сцепляются с обычными субстратами (например, стеклом)., металлические, кремниевые пластинки), образующие стабильные, не очищающиеся пленки, отвечающие высоким требованиям надежности.

Я... Хорошая скорость распыления и сцепление

Хорошая теплопроводность кремния помогает быстро рассеивать тепло с поверхности цели, предотвращая местное перегрев.способствует эффективному отложению пленки.

 Широкое применение кремниевого целевого материала

Я... Производство оптических устройств

Высокая чистота: Кремниевые цели обеспечивают четкость, стабильность и точность оптических устройств, повышая их производительность и надежность.В области волоконно-оптической связи иИнтегрированные оптические схемы, диоксид кремния пленки используются в качестве волноводов для передачи и обработки оптических сигналов.

Я... Производство полупроводников

Используется для подготовки субстратов и упаковочных материалов для светодиодов, обеспечивая улучшение световой эффективности и стабильности светодиодов.

Я... Производство датчиков

Используется при производстве элементов датчиков и схем обработки сигналов, повышая чувствительность и точность датчиков