วัสดุเป้าสปัตเตอริงความบริสุทธิ์สูง Si Target สำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์  

วัสดุเป้าซิลิคอนความบริสุทธิ์สูง: วัสดุหลักสำหรับการเคลือบฟิล์มบาง

วัสดุเป้าซิลิคอนใช้ในกระบวนการ Physical Vapor Deposition (PVD) เป็นหลักสำหรับการเคลือบชั้นกลาง เช่น ซิลิคอนออกไซด์ ซิลิคอนไนไตรด์ และซิลิคอนไฮไดรด์ สามารถแบ่งออกเป็นชนิดซิลิคอนผลึกและชนิด HSi เป้าซิลิคอนมักมีสีเทาเข้ม มีลักษณะกึ่งโลหะ และมีความหนาแน่นประมาณ 2.33 กรัม/ลูกบาศก์เซนติเมตร จุดหลอมเหลวของซิลิคอนคือ 1414 องศาเซลเซียส และจุดเดือดคือ 3265 องศาเซลเซียส ซิลิคอนมีค่าสัมประสิทธิ์การนำความร้อนสูง (149 W·m⁻¹·K⁻¹) และการนำความร้อนที่ดีเยี่ยม นอกจากนี้ วัสดุเป้าซิลิคอนยังมีความแข็งที่ดี คุณสมบัติทางแสง ทนทานต่อการสึกหรอ และทนทานต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม

คุณสมบัติที่ยอดเยี่ยมของวัสดุเป้าซิลิคอน:

การผลิตเซ็นเซอร์ ความบริสุทธิ์สูงช่วยให้ฟิล์มบางมีประสิทธิภาพที่เสถียร

ซิลิคอนผลึกมีความบริสุทธิ์ 99.999% ในขณะที่ HSi มีความบริสุทธิ์ 99.99%

การผลิตเซ็นเซอร์ ความสม่ำเสมอและความหนาแน่นของฟิล์มบางที่ยอดเยี่ยม

เป้าซิลิคอนมีประสิทธิภาพการสปัตเตอร์สูงและเข้ากันได้กับอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศต่างๆ ในกระบวนการ PVD ในขณะเดียวกัน อะตอมซิลิคอนมีการยึดเกาะที่ดีกับพื้นผิวทั่วไป (เช่น แก้ว โลหะ แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน) ทำให้เกิดฟิล์มที่เสถียร ไม่ลอกล่อน ซึ่งตรงตามข้อกำหนดความน่าเชื่อถือสูง

การผลิตเซ็นเซอร์ อัตราการสปัตเตอร์และการยึดเกาะที่ดี

การนำความร้อนที่ดีของซิลิคอนช่วยกระจายความร้อนออกจากพื้นผิวเป้าได้อย่างรวดเร็ว ป้องกันความร้อนสูงเกินเฉพาะจุด นอกจากนี้ การนำไฟฟ้ายังมีความสำคัญต่อการสปัตเตอร์แบบแม่เหล็ก ช่วยในการเคลือบฟิล์มอย่างมีประสิทธิภาพ

 การใช้งานที่หลากหลายของวัสดุเป้าซิลิคอน

การผลิตเซ็นเซอร์ การผลิตอุปกรณ์แสง

ความบริสุทธิ์สูง: เป้าซิลิคอนช่วยให้มั่นใจในความใส ความเสถียร และความแม่นยำของอุปกรณ์แสง เพิ่มประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือ ชั้นป้องกันการสะท้อนและชั้นป้องกัน: ในการสื่อสารใยแก้วนำแสงและวงจรรวมทางแสง ฟิล์มซิลิคอนไดออกไซด์ถูกใช้เป็นวัสดุนำแสงเพื่อส่งและประมวลผลสัญญาณแสงl

การผลิตเซ็นเซอร์ ใช้ในการเตรียมพื้นผิวและวัสดุบรรจุภัณฑ์สำหรับ LED ซึ่งช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการส่องสว่างและความเสถียรของ LED

l

การผลิตเซ็นเซอร์ ใช้ในการผลิตองค์ประกอบเซ็นเซอร์และวงจรประมวลผลสัญญาณ เพิ่มความไวและความแม่นยำของเซ็นเซอร์