Adhésion de collage de plaques de support de cible de pulvérisation de canal d'eau de précision >98%

Une plaque de support de canal d'eau est un composant de refroidissement et de support installé à l'arrière d'une cible de pulvérisation cathodique, doté d'une structure de canal d'eau de précision à l'intérieur. Elle élimine efficacement la chaleur générée pendant le processus de pulvérisation en faisant circuler de l'eau de refroidissement, maintenant la stabilité de la température de la cible et de l'équipement, empêchant la déformation thermique ou la fissuration, prolongeant ainsi la durée de vie de la cible et améliorant la stabilité et la cohérence du processus de dépôt de couches minces.

Pour la pulvérisation cathodique magnétron haute puissance, le dépôt continu sur de grandes surfaces et les cycles de service prolongés, la plaque de support de canal d'eau est un composant de support essentiel. Fabriquées en cuivre de haute pureté ou en alliages d'aluminium spécialisés, ces plaques arrière offrent une gestion thermique supérieure tout en maintenant la résistance mécanique et la résistance à la corrosion nécessaires pour une utilisation industrielle rigoureuse.

Caractéristiques exceptionnelles de la plaque de support de canal d'eau

l APG Target utilise une technologie de base propriétaire pour le collage des cibles rotatives. Ce processus avancé réduit considérablement la consommation d'indium tout en offrant une résistance de liaison interfaciale supérieure. De plus, notre technologie améliore la conductivité électrique et thermique, éliminant efficacement les défis courants de l'industrie tels que la délamination de la cible et la fissuration thermique pendant le fonctionnement.

l Les cibles produites à l'aide de cette technologie de collage peuvent répondre aux exigences de la pulvérisation cathodique haute puissance. Nos cibles rotatives AZO promettent une puissance de pulvérisation de >15KW/M.

l La technologie de collage avancée peut réduire efficacement la quantité d'indium utilisée, ce qui diminue le coût des cibles.

l Nous concevons et produisons des plaques de support en cuivre à canal d'eau pour les clients et fournissons des services de collage.