Sputtering di precisione del canale d'acqua, adesione delle piastre di supporto bersaglio > 98%

Una piastra di supporto del canale idrico è un componente di raffreddamento e supporto installato sul retro di un bersaglio di sputtering, con una struttura di canale idrico di precisione all'interno.Rimuove efficacemente il calore generato durante il processo di sputtering circolando acqua di raffreddamento, mantenendo la stabilità della temperatura del bersaglio e dell'attrezzatura, evitando deformazioni o crepe termiche,in tal modo prolungando la durata del bersaglio e migliorando la stabilità e la consistenza del processo di deposizione del film sottile.

Per lo sputtering magnetron ad alta potenza, la deposizione continua di grandi aree e i cicli di lavoro prolungati, la piastra di supporto del canale d'acqua è un componente di supporto critico.Fabbricazione a partire da leghe di rame o di alluminio speciali di alta purezza, queste backplates offrono una gestione termica superiore mantenendo la resistenza meccanica e la resistenza alla corrosione necessarie per un uso industriale rigoroso.

Caratteristiche straordinarie della piastra di supporto del canale idrico

Io... APG Target utilizza una tecnologia proprietaria per il collegamento di bersagli rotanti.Questo processo avanzato riduce significativamente il consumo di indio, garantendo al contempo una forza di legame interfacciale superioreInoltre, la nostra tecnologia migliora la conducibilità elettrica e termica, eliminando efficacemente le sfide comuni del settore come la delaminazione del bersaglio e la crepazione termica durante il funzionamento.

Io... I bersagli prodotti con questa tecnologia di incollaggio possono soddisfare i requisiti per lo sputtering ad alta potenza.

Io... La tecnologia avanzata di legame può ridurre efficacemente la quantità di indio utilizzato, riducendo così il costo degli obiettivi.

Io... Progettiamo e produciamo piastre di supporto in rame per canali d'acqua e forniamo servizi di incollaggio.