چسبندگی اتصال صفحات پشتی هدف پاشش کانال آب دقیق > 98%

صفحه پشتی کانال آب یک جزء خنک کننده و پشتیبان است که در پشت هدف اسپاترینگ نصب می شود و دارای ساختار کانال آب دقیق در داخل است. این صفحه با گردش آب خنک کننده، حرارت تولید شده در طول فرآیند اسپاترینگ را به طور موثر دفع می کند، پایداری دمای هدف و تجهیزات را حفظ می کند، از تغییر شکل حرارتی یا ترک خوردگی جلوگیری می کند، بنابراین عمر مفید هدف را افزایش می دهد و پایداری و سازگاری فرآیند رسوب لایه نازک را بهبود می بخشد.

برای اسپاترینگ مگنترون با توان بالا، رسوب پیوسته در مساحت بزرگ و چرخه های کاری طولانی، صفحه پشتی کانال آب یک جزء پشتیبان حیاتی است. این صفحات پشتی که از مس با خلوص بالا یا آلیاژهای آلومینیوم تخصصی ساخته شده اند، مدیریت حرارتی برتر را ارائه می دهند و در عین حال استحکام مکانیکی و مقاومت در برابر خوردگی لازم برای استفاده صنعتی سختگیرانه را حفظ می کنند.

ویژگی های برجسته صفحه پشتی کانال آب

l هدف APG از فناوری هسته ای اختصاصی برای اتصال اهداف دوار استفاده می کند. این فرآیند پیشرفته مصرف ایندیم را به طور قابل توجهی کاهش می دهد و در عین حال استحکام اتصال بین سطحی برتر را ارائه می دهد. علاوه بر این، فناوری ما هم رسانایی الکتریکی و هم حرارتی را بهبود می بخشد و به طور موثر چالش های رایج صنعت مانند جدا شدن هدف و ترک خوردگی حرارتی در حین کار را از بین می برد.

l اهداف تولید شده با استفاده از این فناوری اتصال می توانند الزامات اسپاترینگ با توان بالا را برآورده کنند. اهداف دوار AZO ما نوید توان اسپاترینگ >15 کیلووات بر متر را می دهند.

l فناوری اتصال پیشرفته می تواند به طور موثر مقدار ایندیم مورد استفاده را کاهش دهد که هزینه اهداف را کاهش می دهد.

l ما صفحات پشتی مسی کانال آب را برای مشتریان طراحی و تولید می کنیم و خدمات اتصال را ارائه می دهیم.