수냉식 백플레이트는 스퍼터링 타겟 뒷면에 설치되는 냉각 및 지지 부품으로, 내부에 정밀한 수로 구조를 갖추고 있습니다. 냉각수를 순환시켜 스퍼터링 공정 중 발생하는 열을 효율적으로 제거하여 타겟 및 장비 온도의 안정성을 유지하고, 열 변형이나 균열을 방지하여 타겟의 수명을 연장하고 박막 증착 공정의 안정성과 일관성을 향상시킵니다.
고출력 마그네트론 스퍼터링, 연속 대면적 증착 및 장시간 듀티 사이클에 있어 수냉식 백플레이트는 중요한 지지 부품입니다. 고순도 구리 또는 특수 알루미늄 합금으로 제작된 이 백플레이트는 탁월한 열 관리 기능을 제공하며, 엄격한 산업용 사용에 필요한 기계적 강도와 내식성을 유지합니다.
수냉식 백플레이트의 뛰어난 특징
l APG 타겟은 회전 타겟 접합을 위한 독자적인 핵심 기술을 활용합니다. 이 고급 공정은 인듐 소비를 크게 줄이면서도 우수한 계면 접합 강도를 제공합니다. 또한, 당사의 기술은 전기 및 열 전도성을 모두 향상시켜 작동 중 타겟 박리 및 열 균열과 같은 일반적인 산업 문제를 효과적으로 제거합니다.
l 이 접합 기술로 생산된 타겟은 고출력 스퍼터링 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 당사의 AZO 회전 타겟은 >15KW/M의 스퍼터링 파워를 약속합니다.
l 고급 접합 기술은 사용되는 인듐의 양을 효과적으로 줄여 타겟의 비용을 절감할 수 있습니다.
l 고객을 위해 수냉식 구리 백플레이트를 설계 및 생산하고 접합 서비스를 제공합니다.