Precyzyjne rozpylanie kanału wodnego, przyczepność do płyt oporowych docelowych > 98%

Płyta tylna z kanałem wodnym to element chłodzący i wspierający montowany z tyłu tarczy rozpylanej, posiadający wewnątrz precyzyjną strukturę kanału wodnego. Skutecznie odprowadza ciepło generowane podczas procesu rozpylania poprzez cyrkulację wody chłodzącej, utrzymując stabilność temperatury tarczy i sprzętu, zapobiegając deformacjom termicznym lub pękaniu, co przedłuża żywotność tarczy i poprawia stabilność oraz spójność procesu osadzania cienkich warstw.

W przypadku rozpylania magnetronowego o dużej mocy, ciągłego osadzania na dużych powierzchniach i wydłużonych cyklach pracy, płyta tylna z kanałem wodnym jest kluczowym elementem wspierającym. Wykonane z miedzi o wysokiej czystości lub specjalistycznych stopów aluminium, te płyty tylne zapewniają doskonałe zarządzanie termiczne, jednocześnie zachowując wytrzymałość mechaniczną i odporność na korozję niezbędne do rygorystycznego użytku przemysłowego.

Wyjątkowe cechy płyty tylnej z kanałem wodnym

l APG Target wykorzystuje własną technologię rdzeniową do łączenia tarcz obrotowych. Ten zaawansowany proces znacząco redukuje zużycie indu, jednocześnie zapewniając doskonałą siłę wiązania międzyfazowego. Ponadto, nasza technologia poprawia zarówno przewodność elektryczną, jak i termiczną, skutecznie eliminując powszechne w branży problemy, takie jak delaminacja tarczy i pękanie termiczne podczas pracy.

l Tarcze produkowane przy użyciu tej technologii łączenia mogą spełniać wymagania dotyczące rozpylania o dużej mocy. Nasze tarcze obrotowe AZO obiecują moc rozpylania >15KW/M.

l Zaawansowana technologia łączenia może skutecznie zmniejszyć ilość używanego indu, co obniża koszt tarcz.

l Projektujemy i produkujemy miedziane płyty tylne z kanałem wodnym dla klientów oraz świadczymy usługi łączenia.