Präzisionswasserkanalsputtern Zielstützplatten Bindungsabhängigkeit > 98%

Eine Wasserkanalstütze ist eine Kühl- und Stützkomponente, die auf der Rückseite eines Sputterziels installiert ist und eine präzise Wasserkanalstruktur im Inneren aufweist.Es entfernt die während des Sputterprozesses erzeugte Wärme durch zirkulierendes Kühlwasser effizient, die Stabilität der Ziel- und Ausrüstungstemperatur aufrechtzuerhalten, thermische Verformungen oder Risse zu verhindern,so die Lebensdauer des Ziels verlängert und die Stabilität und Konsistenz des Dünnschichtdeponierungsprozesses erhöht.

Für Hochleistungs-Magnetron-Sputtering, kontinuierliche Großflächenablagerungen und längere Arbeitszyklen ist die Wasserkanal-Stützplatte eine kritische Trägerkomponente.Hergestellt aus hochreinen Kupfer- oder speziellen Aluminiumlegierungen, bieten diese Rückplatten eine überlegene thermische Steuerung bei gleichzeitiger Erhaltung der mechanischen Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit, die für den strengen industriellen Einsatz erforderlich sind.

Besondere Merkmale der Wasserkanal-Rückhalteplatte

Ich... APG Target nutzt eine proprietäre Kerntechnologie zur Bindung von Drehzielen.Dieses fortschrittliche Verfahren reduziert den Indiumverbrauch erheblich und bietet gleichzeitig eine überlegene Bindungsfestigkeit der OberflächenDarüber hinaus verbessert unsere Technologie sowohl die elektrische als auch die thermische Leitfähigkeit und beseitigt so die allgemeinen Herausforderungen der Industrie wie Zieldelamination und thermisches Rissen während des Betriebs.

Ich... Die mit dieser Bindetechnologie hergestellten Ziele können den Anforderungen an die Hochleistungs-Sputterung entsprechen.

Ich... Die fortschrittliche Bindetechnologie kann die verwendete Indiummenge effektiv reduzieren, wodurch die Kosten der Ziele gesenkt werden.

Ich... Wir entwerfen und produzieren Kupfer-Hintergrundplatten für Wasserkanäle für Kunden und bieten Bindungsdienste an.