Hoofddoelmateriaal:Cu, Ti, W, SS, AI, Si, Ni, Mo, Cr, Ta, Ag, Au, Pt, Ir, Sc, AISC, NiFe, NiCr, NiCu, WTi, AICu, PZT, LNO, NiV

Verdampingsmaterialen:Cu, Ni, Ti, W, AI, Mo, Cr, Ta, Ag, Au, Pt, Ir, Y

Deze doelmaterialen zijn cruciale en onmisbare componenten in de halfgeleiderfabricage.en diverse elektronische componentenDoor middel van sputtering door fysieke dampdepositie (PVD) vormen deze materialen essentiële geleidende, barrière-, isolatie- en functionele films op wafers en substraatoppervlakken.Dit proces verbetert de prestaties van het apparaat aanzienlijk, betrouwbaarheid en productie-opbrengst, terwijl ze consequent voldoen aan de strenge vereisten voor de uniformiteit van de filmdikte en de stabiliteit die door geavanceerde halfgeleiderprocessen worden geëist.

1.Geavanceerde verpakkingen

In geavanceerde verpakkingsprocessen, waaronder flip-chip, fan-out verpakking en 3D-stapeling, worden doelmaterialen gebruikt om kritieke lagen zoals metalen interconnecties, diffusiebarrières,en omleidingslagen (RDL's)Deze materialen zijn van cruciaal belang voor het verhogen van de dichtheid van de verpakking, het verhogen van de snelheid van signaaloverdracht en het verbeteren van de thermische beheersmogelijkheden.Dit alles met het oog op een superieure filmslijm en de betrouwbaarheid van het apparaat op lange termijn..

2.Derde generatie halfgeleiders

Bij de productie van de derde generatie halfgeleiders zoals siliciumcarbide (SiC) en galliumnitride (GaN) worden doelmaterialen gebruikt om elektroden, barrièrelagen,beschermende filmsDeze materialen behouden een uitstekende geleidbaarheid en structurele stabiliteit in omgevingen met hoge temperatuur, hoge druk en hoge frequentie.het voldoen aan de strenge duurzaamheids- en stabiliteitseisen van moderne energieapparaten.

3.MEMS-apparaten

Doelmaterialen worden gebruikt om gevoelige films, functionele films en beschermende films te deponeren bij de vervaardiging van MEMS-apparaten (micro-electro-mechanische systemen), zoals druksensoren,accelerometers, en gyroscopen, , waardoor hoge gevoeligheid, betrouwbaarheid en stabiliteit op microschaal worden gewaarborgd.

4Elektronicacomponenten

Bij de productie van diverse elektronische componenten, waaronder condensatoren, weerstanden, sensoren en schakelaars, worden doelmaterialen gebruikt om kritische geleidende lagen, dielectrische lagen,en beschermingslagen voor verpakkingenDeze materialen verbeteren effectief de elektrische geleidbaarheid, verbeteren de isolatie eigenschappen en verhogen de duurzaamheid van het milieu, waardoor de levensduur van het onderdeel wordt verlengd en een stabiele,betrouwbare prestaties.