Bahan Target Utama:Cu, Ti, W, SS, AI, Si, Ni, Mo, Cr, Ta, Ag, Au, Pt, Ir, Sc, AISC, NiFe, NiCr, NiCu, WTi, AICu, PZT, LNO, NiV

Bahan Evaporasi:Cu, Ni, Ti, W, AI, Mo, Cr, Ta, Ag, Au, Pt, Ir, Y

Bahan target ini merupakan komponen penting dan tak tergantikan dalam manufaktur semikonduktor. Bahan-bahan ini banyak digunakan dalam kemasan canggih, semikonduktor generasi ketiga, perangkat MEMS, dan berbagai komponen elektronik. Melalui sputtering deposisi uap fisik (PVD), bahan-bahan ini membentuk film konduktif, penghalang, isolasi, dan fungsional yang penting pada permukaan wafer dan substrat. Proses ini secara signifikan meningkatkan kinerja perangkat, keandalan, dan hasil manufaktur, sambil secara konsisten memenuhi persyaratan ketat untuk keseragaman ketebalan film dan stabilitas yang dituntut oleh proses semikonduktor canggih.

1.Kemasan Canggih

Dalam proses kemasan canggih, termasuk flip-chip, kemasan fan-out, dan penumpukan 3D, bahan target digunakan untuk mendepositkan lapisan penting seperti interkoneksi logam, lapisan penghalang difusi, dan lapisan perutean ulang (RDL). Bahan-bahan ini berperan penting dalam meningkatkan kepadatan kemasan, meningkatkan kecepatan transmisi sinyal, dan meningkatkan kemampuan manajemen termal, sambil memastikan adhesi film yang unggul dan keandalan perangkat jangka panjang.

2.Semikonduktor Generasi Ketiga

Dalam pembuatan perangkat daya semikonduktor generasi ketiga seperti Silicon Carbide (SiC) dan Gallium Nitride (GaN), bahan target digunakan untuk membuat elektroda, lapisan penghalang, lapisan pelindung, dan berbagai lapisan fungsional. Bahan-bahan ini mempertahankan konduktivitas dan stabilitas struktural yang sangat baik dalam lingkungan suhu tinggi, tekanan tinggi, dan frekuensi tinggi, sehingga memenuhi persyaratan daya tahan dan stabilitas ketat dari perangkat daya modern.

3. Perangkat MEMS

Bahan target digunakan untuk mendepositkan film sensitif, film fungsional, dan film pelindung dalam pembuatan perangkat MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) seperti sensor tekanan, akselerometer, dan giroskop, memastikan sensitivitas, keandalan, dan stabilitas yang tinggi pada skala mikro.

4. Komponen Elektronik

Dalam produksi berbagai komponen elektronik—termasuk kapasitor, resistor, sensor, dan sakelar—bahan target digunakan untuk membentuk lapisan konduktif penting, lapisan dielektrik, dan lapisan perlindungan kemasan. Bahan-bahan ini secara efektif meningkatkan konduktivitas listrik, meningkatkan sifat isolasi, dan meningkatkan daya tahan lingkungan, sehingga memperpanjang masa pakai komponen dan memastikan kinerja yang stabil dan andal.