Các mục tiêu chính:Cu, Ti, W, SS, AI, Si, Ni, Mo, Cr, Ta, Ag, Au, Pt, Ir, Sc, AISC, NiFe, NiCr, NiCu, WTi, AICu, PZT, LNO, NiV

Vật liệu bay hơi:Cu, Ni, Ti, W, AI, Mo, Cr, Ta, Ag, Au, Pt, Ir, Y

Những vật liệu mục tiêu này là các thành phần quan trọng và không thể thiếu trong sản xuất bán dẫn. Chúng được sử dụng rộng rãi trên bao bì tiên tiến, bán dẫn thế hệ thứ ba, thiết bị MEMS,và các thành phần điện tử khác nhauThông qua phun phun hơi (PVD), các vật liệu này tạo thành các tấm dẫn điện, rào cản, cách nhiệt và chức năng thiết yếu trên bề mặt wafer và nền.Quá trình này cải thiện đáng kể hiệu suất thiết bị, độ tin cậy và năng suất sản xuất, trong khi luôn đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về sự đồng nhất độ dày phim và sự ổn định được yêu cầu bởi các quy trình bán dẫn tiên tiến.

1.Bao bì tiên tiến

Trong các quy trình đóng gói tiên tiến, bao gồm đóng gói flip-chip, fan-out và xếp chồng 3D, các vật liệu mục tiêu được sử dụng để lắng đọng các lớp quan trọng như kết nối kim loại, rào cản khuếch tán,và các lớp chuyển tuyến (RDL)Các vật liệu này có vai trò quan trọng trong việc tăng mật độ đóng gói, tăng tốc độ truyền tín hiệu và cải thiện khả năng quản lý nhiệt.tất cả trong khi đảm bảo độ dính phim vượt trội và độ tin cậy thiết bị lâu dài.

2.Máy bán dẫn thế hệ thứ ba

Trong sản xuất các thiết bị điện bán dẫn thế hệ thứ ba như Silicon Carbide (SiC) và Gallium Nitride (GaN), các vật liệu mục tiêu được sử dụng để tạo ra điện cực, lớp rào cản,phim bảo vệCác vật liệu này duy trì tính dẫn xuất sắc và độ ổn định cấu trúc trong môi trường nhiệt độ cao, áp suất cao và tần số cao,do đó đáp ứng các yêu cầu bền và ổn định nghiêm ngặt của các thiết bị điện hiện đại.

3Thiết bị MEMS

Các vật liệu mục tiêu được sử dụng để lắng đọng các phim nhạy cảm, phim chức năng và phim bảo vệ trong sản xuất các thiết bị MEMS (Hệ thống vi điện cơ học) như cảm biến áp suất,máy đo tốc độ, và kính quay, , đảm bảo độ nhạy cao, độ tin cậy và ổn định ở quy mô vi mô.

4Các thành phần điện tử

Trong sản xuất các thành phần điện tử khác nhau, bao gồm tụ, kháng cự, cảm biến và công tắc, các vật liệu mục tiêu được sử dụng để tạo thành các lớp dẫn điện quan trọng, các lớp điện môi,và lớp bảo vệ bao bìCác vật liệu này hiệu quả tăng cường tính dẫn điện, cải thiện tính cách nhiệt, và tăng độ bền môi trường, do đó kéo dài tuổi thọ của các thành phần và đảm bảo ổn định,hiệu suất đáng tin cậy.