วัสดุเป้าหมายหลัก:Cu, Ti, W, SS, AI, Si, Ni, Mo, Cr, Ta, Ag, Au, Pt, Ir, Sc, AISC, NiFe, NiCr, NiCu, WTi, AICu, PZT, LNO, NiV

วัสดุระเหย:Cu, Ni, Ti, W, AI, Mo, Cr, Ta, Ag, Au, Pt, Ir, Y

วัสดุเป้าหมายเหล่านี้เป็นองค์ประกอบที่สําคัญและจําเป็นในการผลิตครึ่งตัวนํา พวกเขาถูกนําไปใช้อย่างแพร่หลายในอุปกรณ์บรรจุที่ทันสมัย, ครึ่งตัวนํารุ่นที่สาม,และส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ต่าง ๆผ่านการพ่นพัดพัดพัดพัดพัดพัดพัด (PVD) วัสดุเหล่านี้สร้างฟิล์มที่นํา, ป้องกัน, ติดกันและใช้งานที่จําเป็นบนผิวแผ่นและพื้นฐานกระบวนการนี้เพิ่มผลงานของอุปกรณ์อย่างสําคัญ, ความน่าเชื่อถือและผลิตผลิต, ในขณะที่ตอบสนองอย่างต่อเนื่องกับความต้องการที่เข้มงวดสําหรับความเหมือนกันความหนาของฟิล์มและความมั่นคงที่ต้องการโดยกระบวนการครึ่งประสาทที่ก้าวหน้า

1.การบรรจุสินค้าที่ทันสมัย

ในกระบวนการการบรรจุที่ทันสมัย รวมถึงการบรรจุแบบฟลิปชิป, แฟน-ออท และการสต็อป 3 มิติ วัสดุเป้าหมายถูกใช้ในการฝากชั้นสําคัญ เช่น การเชื่อมต่อระหว่างโลหะ, ป้องกันการกระจายและชั้นเปลี่ยนเส้นทาง (RDLs)วัสดุเหล่านี้มีส่วนสําคัญในการเพิ่มความหนาแน่นของบรรจุภัณฑ์ เพิ่มความเร็วในการส่งสัญญาณ และปรับปรุงความสามารถในการจัดการความร้อนทั้งหมดนี้ในขณะที่รับประกันความแน่นของฟิล์มที่ดีกว่าและความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์ในระยะยาว.

2.เครื่องประกอบครึ่งประสาทรุ่นที่สาม

ในการผลิตอุปกรณ์พลังงานครึ่งตัวรุ่นที่สาม เช่น Silicon Carbide (SiC) และ Gallium Nitride (GaN) วัสดุเป้าหมายถูกใช้ในการสร้างอิเล็กทรอัด ชั้นป้องกันหนังป้องกันวัสดุเหล่านี้รักษาความสามารถในการนําไฟและความมั่นคงของโครงสร้างที่ดีเยี่ยมในอุณหภูมิสูง ความดันสูง และสภาพแวดล้อมความถี่สูงทําให้ตอบสนองความยั่งยืนและความมั่นคงของอุปกรณ์พลังงานที่ทันสมัย.

3อุปกรณ์ MEMS

วัสดุเป้าหมายถูกใช้ในการฝากฟิล์มที่มีความรู้สึก, ฟิล์มที่ใช้งาน และฟิล์มป้องกันในการผลิตอุปกรณ์ MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) เช่นเซ็นเซอร์ความดันเครื่องวัดความเร่ง, และจิโรสโกป , รับประกันความรู้สึกสูง, ความน่าเชื่อถือ, และความมั่นคงในขนาดเล็ก

4องค์ประกอบอิเล็กทรอนิกส์

ในการผลิตองค์ประกอบอิเล็กทรอนิกส์ต่าง ๆ รวมถึงตัวประกอบ, แทน, เซนเซอร์, และสวิตช์และชั้นป้องกันบรรจุวัสดุเหล่านี้เพิ่มประสิทธิภาพการนําไฟฟ้า, ปรับปรุงคุณสมบัติการกันความร้อน, และเพิ่มความทนทานต่อสิ่งแวดล้อมผลงานที่น่าเชื่อถือ.