Principais materiais alvo:Cu, Ti, W, SS, AI, Si, Ni, Mo, Cr, Ta, Ag, Au, Pt, Ir, Sc, AISC, NiFe, NiCr, NiCu, WTi, AICu, PZT, LNO, NiV

Materiais de evaporação:Cu, Ni, Ti, W, AI, Mo, Cr, Ta, Ag, Au, Pt, Ir, Y

Estes materiais-alvo são componentes críticos e indispensáveis na fabricação de semicondutores.e vários componentes eletrónicosAtravés da deposição física de vapor (PVD), estes materiais formam filmes condutores, de barreira, isolantes e funcionais essenciais nas superfícies da bolacha e do substrato.Este processo melhora significativamente o desempenho do dispositivo, confiabilidade e rendimento de fabrico, ao mesmo tempo em que satisfazem consistentemente os rigorosos requisitos de uniformidade e estabilidade da espessura da película exigidos pelos processos avançados de semicondutores.

1.Embalagens avançadas

Em processos avançados de embalagem, incluindo embalagens de flip-chip, embalagens de ventilação e empilhamento 3D, os materiais alvo são usados para depositar camadas críticas, como interconexões metálicas, barreiras de difusão,e camadas de reencaminhamento (RDL)Estes materiais são fundamentais para aumentar a densidade da embalagem, aumentar as velocidades de transmissão do sinal e melhorar as capacidades de gestão térmica.tudo garantindo a adesão superior da película e a confiabilidade do dispositivo a longo prazo.

2.Semicondutores de terceira geração

Na fabricação de dispositivos de energia semicondutores de terceira geração, como o carburo de silício (SiC) e o nitreto de gálio (GaN), os materiais alvo são usados para criar eletrodos, camadas de barreira,filmes protetoresEstes materiais mantêm uma excelente condutividade e estabilidade estrutural em ambientes de alta temperatura, alta pressão e alta frequência,satisfazendo assim os rigorosos requisitos de durabilidade e estabilidade dos dispositivos de energia modernos.

3. Dispositivos MEMS

Os materiais-alvo são utilizados para depositar filmes sensíveis, filmes funcionais e filmes protetores no fabrico de dispositivos MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), tais como sensores de pressão,acelerômetros, e giroscópios, , assegurando uma elevada sensibilidade, fiabilidade e estabilidade na microescala.

4.Componentes eletrónicos

Na produção de diversos componentes electrónicos, incluindo condensadores, resistências, sensores e interruptores, os materiais-alvo são utilizados para formar camadas condutoras críticas, camadas dielétricas, camadas de condução de energia, camadas de condução de energia, camadas de condução de energia, camadas de condução de energia, camadas de condução de energia, camadas de condução de energia, camadas de condução de energia, camadas de condução de energia, etc.e camadas de protecção das embalagensEstes materiais melhoram efetivamente a condutividade elétrica, melhoram as propriedades de isolamento e aumentam a durabilidade ambiental, prolongando assim a vida útil dos componentes e garantindo a estabilidade,desempenho confiável.