Китайские мишени для распыления меди (мишени для распыления меди)

Мишени для распыления из высокочистой меди, заказные/плоские/роторные медные мишени, поставщик медных мишеней для напыления 

Физические свойства материалов напрямую определяют качество пленки и эффективность производства при вакуумном напылении. Медные мишени, обладающие превосходной проводимостью и выдающейся теплопроводностью, стали «ключевым материалом» в высокотехнологичных производственных областях, таких как производство полупроводников, дисплейные панели, фотоэлектрическая промышленность и силовые батареи. Их уникальные эксплуатационные преимущества не только обеспечивают стабильность и эффективность процесса распыления, но и наделяют покрытые изделия превосходной функциональностью и надежностью.

 Основные преимущества медных мишеней для распыления: чистота и размер зерна

l Сверхвысокая чистота, чрезвычайно низкое содержание примесей

Используя высокочистую электролитическую медь с чистотой от 99,9% (3N) до 99,9999% (6N) в качестве сырья, многоступенчатые процессы очистки (электролитическое рафинирование, зонная плавка) используются для строгого контроля примесей, таких как кислород, сера, железо и т. д., обеспечивая однородные и бездефектные распыленные пленки, соответствующие требованиям к производительности прецизионных электронных компонентов.

l Однородность размера зерна

Медные мишени для распыления демонстрируют плотно расположенные зерна с постоянной ориентацией (текстурой) при микроскопическом исследовании. Эта оптимизированная микроструктура обеспечивает высокую стабильность в процессе распыления и гарантирует однородное качество пленки.

l Превосходные физические свойства, стабильное распыление

Медь — красновато-оранжевый металл с температурой плавления 1083°C, плотностью 8,96 г/см³ и температурой кипения 2567 °C. Благодаря превосходной тепло- и электропроводности медные мишени способствуют быстрому отводу тепла при высокочастотном распылении. Это эффективно предотвращает деформацию или растрескивание, вызванное локальным термическим напряжением, обеспечивая непрерывный, стабильный и высокопроизводительный процесс осаждения.

l Точное формование, высокая совместимость

Поддерживается изготовление на заказ различных спецификаций, таких как плоские мишени, роторные мишени и мишени нестандартной формы, с точностью размеров в пределах ±0,1 мм. Шероховатость поверхности мишени составляет R_a ≤ 0,8 μм, что обеспечивает идеальную совместимость с основным оборудованием для распыления, таким как магнетронное распыление и ионно-лучевое распыление, уменьшая явления дугообразования во время распыления.

Основные области применения медных мишеней для распыления

l Производство полупроводников

Медные мишени для распыления широко используются в слоях металлической металлизации (например, в медных межсоединениях) при производстве полупроводниковых чипов. Благодаря превосходной электро- и теплопроводности они эффективно снижают сопротивление и энергопотребление, что делает их незаменимым ключевым материалом в передовых процессах.

l Дисплейные панели

Медные мишени для распыления часто используются для формирования проводящих слоев в производстве ЖК, OLED и других плоскопанельных дисплеев. Медь имеет более низкое сопротивление, что улучшает скорость отклика дисплея и энергоэффективность по сравнению с традиционными материалами.

l Фотоэлектрическая промышленность

Медные мишени играют критически важную роль в изготовлении тонкопленочных солнечных элементов CIGS (медь-индий-галлий-селенид). Используемые для формирования задних электродов и промежуточных проводящих слоев, они вносят значительный вклад в превосходную эффективность фотоэлектрического преобразования и долгосрочную стабильность устройств.

l Силовые батареи
Медные мишени для распыления также используются при обработке литиевых аккумуляторных электродов методом напыления, улучшая адгезию и проводимость электродов, помогая продлить срок службы батареи и увеличить ее энергоемкость.

Запросить расчет стоимости медной мишени для распыления

Пожалуйста, укажите требуемую чистоту, размеры мишени, количество и требования к опорной пластине или склейке при связи с APG. Ознакомьтесь с нашими мишенями для распыления для получения информации о сопутствующих материалах.