Высокочистый мишень для напыления кремния для производства полупроводников  

Целевой материал для распыливания кремния высокой чистоты: основной материал для осаждения тонкой пленки

Целевой материал используется в физических процессах отложения пара (PVD), в основном для отложения средних слоев, таких как оксид кремния, нитрид кремния и гидрид кремния.Он может быть разделен на кристаллический кремний и HSi типыЦели для распыливания кремния обычно темно-серого цвета с полуметаллическим внешним видом и плотностью около 2,33 г/см3. Точка плавления кремния составляет 1414°C, а точка кипения 3265°C.Кремний имеет высокий коэффициент теплопроводности (149 W·m−1·K−1) и отличную теплопроводностьКроме того, кремний имеет хорошую твердость, оптические свойства, износостойкость и отличную коррозионную устойчивость.

Отличные свойства материала-мишеня для распыливания кремниевым полиэтиленом:

Я... Высокая чистота обеспечивает стабильную тонкую пленку

Кристаллический кремний имеет чистоту 99,999%, а чистота HSi 99,99%

Я... Отличная однородность и плотность тонкой пленки

Кремниевые цели для распыливания имеют высокую эффективность распыливания и совместимы с различным оборудованием для вакуумного покрытия в процессе PVD.Кремниевые атомы хорошо сцепляются с обычными субстратами (например, стеклом)., металлические, кремниевые пластинки), образующие стабильные, не очищающиеся пленки, отвечающие высоким требованиям надежности.

Я... Хорошая скорость распыления и сцепление

Хорошая теплопроводность кремния помогает быстро рассеивать тепло с поверхности цели, предотвращая местное перегрев.способствует эффективному отложению пленки.

 Широкое применение кремниевого распылителя

Я... Производство оптических устройств

Высокая чистота: Цели для распыливания кремния обеспечивают четкость, стабильность и точность оптических устройств, повышая их производительность и надежность.В области волоконно-оптической связи иИнтегрированные оптические схемы, диоксид кремния пленки используются в качестве волноводов для передачи и обработки оптических сигналов.

Я... Производство полупроводников

Используется для подготовки субстратов и упаковочных материалов для светодиодов, обеспечивая улучшение световой эффективности и стабильности светодиодов.

Я... Производство датчиков

Используется при производстве элементов датчиков и схем обработки сигналов, повышая чувствительность и точность датчиков

Запросите цитату на цель для силиконовой полировки

Укажите, пожалуйста, качество материала, требуемую чистоту, целевые размеры, количество и требования к склеиванию, если:связаться с APGИзучите нашЦели для распыливаниядля смежных материалов.