Yarı İletken Üretimi İçin Yüksek Saflıkta Sputtering Hedef Malzemesi Si Hedefi  

Yüksek Saflıklı Silikon Hedef Malzemesi: İnce Film Depozisyonu için Temel Malzeme

Silikon hedef malzemesi, esas olarak silikon oksit, silikon nitrit ve silikon hidrür gibi orta katmanların deponasyonu için fiziksel buhar birikimi (PVD) süreçlerinde kullanılır.Kristal silikon ve HSi türlerine ayrılabilir.Silikon hedefleri tipik olarak koyu gri, yarı metal görünümlü ve yoğunluğu yaklaşık 2.33 g/cm3'tür.Silikon yüksek bir ısı iletkenlik katsayısına sahiptir (149 W·m−1·K−1) ve mükemmel ısı iletkenliğine sahiptirEk olarak, silikon hedef malzemesinin iyi sertliği, optik özellikleri, aşınma direnci ve mükemmel korozyon direnci vardır.

Silikon Hedef Malzemesinin Mükemmel Özellikleri:

Ben... Yüksek saflık sabit ince film performansını sağlar

Kristal silikon %99,999 saflığa sahiptir, HSi saflığı ise %99,99'dur.

Ben... Mükemmel ince film tekdüzeliği ve yoğunluğu

Silikon hedefleri yüksek bir püskürtme verimliliğine sahiptir ve PVD işlemindeki çeşitli vakum kaplama ekipmanlarıyla uyumludur.Silikon atomları ortak substratlara (şekil gibi) iyi yapışır., metal, silikon levhalar), yüksek güvenilirlik gereksinimlerini karşılayan sabit, soyulmaz filmler oluşturur.

Ben... İyi püskürme hızı ve yapışkanlık

Silikonun iyi termal iletkenliği, hedef yüzeyden ısıyı hızlı bir şekilde dağıtmaya yardımcı olur ve yerel aşırı ısınmayı önler.verimli film çöküşüne yardımcı olur.

 Silikon Hedef Malzemesinin Geniş Uygulamalar

Ben... Optik cihaz üretimi

Yüksek saflık: Silikon hedefleri optik cihazların netliğini, istikrarını ve doğruluğunu sağlar, performanslarını ve güvenilirliğini artırır.Fiber optik iletişim veEntegre optik devreler, silikon dioksit filmleri, optik sinyallerin iletilmesi ve işlenmesi için dalga kılavuzu malzemeleri olarak kullanılır.

Ben... Yarım iletken üretimi

LED'lerin ışık verimliliğini ve istikrarını geliştiren LED'ler için substrat ve ambalaj malzemeleri hazırlamak için kullanılır.

Ben... Sensör Üretimi

Sensör elemanlarının ve sinyal işleme devrelerinin üretiminde kullanılır, sensörlerin hassasiyetini ve doğruluğunu artırır