مادة هدف الرش عالية النقاء Si Target لتصنيع أشباه الموصلات

مادة هدف السيليكون عالية النقاء: المادة الأساسية لترسيب الأغشية الرقيقة

تُستخدم مادة هدف السيليكون في عمليات الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD)، بشكل أساسي لترسيب طبقات متوسطة مثل أكسيد السيليكون، نيتريد السيليكون، وهيدريد السيليكون. يمكن تقسيمها إلى أنواع السيليكون البلوري و HSi. أهداف السيليكون عادة ما تكون رمادية داكنة ذات مظهر شبه معدني وكثافة تبلغ حوالي 2.33 جم/سم³. نقطة انصهار السيليكون هي 1414 درجة مئوية، ونقطة غليانه هي 3265 درجة مئوية. يتمتع السيليكون بمعامل توصيل حراري عالٍ (149 واط·م⁻¹·ك⁻¹) وتوصيل حراري ممتاز. بالإضافة إلى ذلك، تتمتع مادة هدف السيليكون بصلابة جيدة، وخصائص بصرية، ومقاومة للتآكل، ومقاومة ممتازة للتآكل.

الخصائص الممتازة لمادة هدف السيليكون:

l النقاء العالي يضمن أداءً مستقرًا للأغشية الرقيقة

يتمتع السيليكون البلوري بنقاء 99.999%، بينما يبلغ نقاء HSi 99.99%

l توحيد وكثافة ممتازة للأغشية الرقيقة

تتمتع أهداف السيليكون بكفاءة رش عالية وهي متوافقة مع معدات الطلاء الفراغي المختلفة في عملية PVD. في الوقت نفسه، تتمتع ذرات السيليكون التصاقًا جيدًا بالركائز الشائعة (مثل الزجاج والمعادن ورقائق السيليكون)، مما يشكل أغشية مستقرة غير قابلة للتقشير تلبي متطلبات الموثوقية العالية.

l معدل رش والتصاق جيدان

يساعد التوصيل الحراري الجيد للسيليكون على تبديد الحرارة بسرعة من سطح الهدف، مما يمنع التسخين المفرط المحلي. كما أن توصيله ضروري للرش المغناطيسي، مما يساعد في ترسيب الأغشية بكفاءة.

 تطبيقات واسعة لمادة هدف السيليكون

l تصنيع الأجهزة البصرية

نقاء عالٍ: تضمن أهداف السيليكون وضوح واستقرار ودقة الأجهزة البصرية، مما يعزز أداءها وموثوقيتها. طبقات مضادة للانعكاس وطبقات واقية: في اتصالات الألياف الضوئية والدوائر البصرية المتكاملة، تُستخدم أغشية ثاني أكسيد السيليكون كمواد موجّهة لنقل ومعالجة الإشارات الضوئية.

l تصنيع أشباه الموصلات

تُستخدم لتحضير الركائز ومواد التغليف لمصابيح LED، مما يوفر تحسينًا في الكفاءة الضوئية واستقرار مصابيح LED.

l تصنيع المستشعرات

تُستخدم في إنتاج عناصر المستشعرات ودوائر معالجة الإشارات، مما يعزز حساسية ودقة المستشعرات