Στόχος υλικού υψηλής καθαρότητας Si Στόχος για την κατασκευή ημιαγωγών

Υλικό Στόχου Πυριτίου Υψηλής Καθαρότητας: Βασικό Υλικό για Εναπόθεση Λεπτών Υμενίων

Το υλικό στόχου πυριτίου χρησιμοποιείται σε διαδικασίες φυσικής εναπόθεσης ατμών (PVD), κυρίως για την εναπόθεση μεσαίων στρωμάτων όπως οξείδιο πυριτίου, νιτρίδιο πυριτίου και υδρίδιο πυριτίου. Μπορεί να χωριστεί σε τύπους κρυσταλλικού πυριτίου και HSi. Οι στόχοι πυριτίου είναι συνήθως σκούρου γκρι με ημι-μεταλλική εμφάνιση και πυκνότητα περίπου 2,33 g/cm³. Το σημείο τήξης του πυριτίου είναι 1414°C και το σημείο βρασμού του είναι 3265°C. Το πυρίτιο έχει υψηλό συντελεστή θερμικής αγωγιμότητας (149 W·m⁻¹·K⁻¹) και εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα. Επιπλέον, το υλικό στόχου πυριτίου έχει καλή σκληρότητα, οπτικές ιδιότητες, αντοχή στη φθορά και εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση.

Εξαιρετικές Ιδιότητες Υλικού Στόχου Πυριτίου:

l Υψηλή Καθαρότητα Εξασφαλίζει Σταθερή Απόδοση Λεπτών Υμενίων

Το κρυσταλλικό πυρίτιο έχει καθαρότητα 99,999%, ενώ η καθαρότητα HSi είναι 99,99%

l Εξαιρετική Ομοιομορφία και Πυκνότητα Λεπτών Υμενίων

Οι στόχοι πυριτίου έχουν υψηλή απόδοση εκτοξευτήρα και είναι συμβατοί με διάφορο εξοπλισμό κενού επίστρωσης στη διαδικασία PVD. Ταυτόχρονα, τα άτομα πυριτίου έχουν καλή πρόσφυση σε κοινά υποστρώματα (όπως γυαλί, μέταλλο, γκοφρέτες πυριτίου), σχηματίζοντας σταθερά, μη ξεφλουδίζοντα υμένια που πληρούν απαιτήσεις υψηλής αξιοπιστίας.

l Καλός Ρυθμός Εκτοξευτήρα και Πρόσφυση

Η καλή θερμική αγωγιμότητα του πυριτίου βοηθά στη γρήγορη διάχυση της θερμότητας από την επιφάνεια του στόχου, αποτρέποντας την τοπική υπερθέρμανση. Επίσης, η αγωγιμότητά του είναι απαραίτητη για τον μαγνητρονικό εκτοξευτήρα, βοηθώντας στην αποτελεσματική εναπόθεση υμενίων.

 Ευρείες Εφαρμογές Υλικού Στόχου Πυριτίου

l Κατασκευή Οπτικών Συσκευών

Υψηλή Καθαρότητα: Οι στόχοι πυριτίου διασφαλίζουν τη διαύγεια, τη σταθερότητα και την ακρίβεια των οπτικών συσκευών, βελτιώνοντας την απόδοση και την αξιοπιστία τους. Αντι-ανακλαστικά και προστατευτικά στρώματα: Στις οπτικές ίνες επικοινωνιών και ενσωματωμένα οπτικά κυκλώματα, τα υμένια διοξειδίου του πυριτίου χρησιμοποιούνται ως υλικά κυματοδηγών για τη μετάδοση και επεξεργασία οπτικών σημάτων.

l Κατασκευή Ημιαγωγών

Χρησιμοποιείται για την παρασκευή υποστρωμάτων και υλικών συσκευασίας για LED, βελτιώνοντας την φωτεινή απόδοση και σταθερότητα των LED.

l Κατασκευή Αισθητήρων

Χρησιμοποιείται στην παραγωγή στοιχείων αισθητήρων και κυκλωμάτων επεξεργασίας σήματος, βελτιώνοντας την ευαισθησία και την ακρίβεια των αισθητήρων