Molybdeen sputterdoel (Mo sputterdoel)

Molybdeen Sputterdoel, een rijzende ster in hoogwaardige materialen

Met de voortdurende vooruitgang in de materiaalkunde zijn molybdeen sputterdoelen een belangrijke drijfveer geworden op diverse gebieden. Molybdeen doelen zijn cruciaal in de halfgeleider-, display-, fotovoltaïsche en high-end productie-sectoren, en leveren unieke prestatievoordelen die industriële innovatie stimuleren.

Uitstekende eigenschappen van Molybdeen sputterdoelen

l Ultra-hoge zuiverheid

Molybdeen sputterdoelen hebben doorgaans een hoge zuiverheid van ≥99,95%, waarbij sommige 5N (99,999%) bereiken. Extreem lage onzuiverheidsgehaltes, zoals Fe en Ni <50ppm, en O <200ppm, zorgen voor stabiele elektrische prestaties van gesputterde films, wat een solide basis legt voor precisie-toepassingen zoals de productie van halfgeleiderchips.

l Hoge temperatuur oxidatieweerstand

Met een ultrahoog smeltpunt van 2623℃ is de gewichtstoename door oxidatie in lucht bij 1000℃ <0,1 mg/cm² (100 uur). Een fotovoltaïsch bedrijf dat Mo-doelen gebruikte om TCO-films te bereiden, vertoonde bijvoorbeeld geen storing na 500 uur onder 85℃/85% RH-testen, wat een uitstekende stabiliteit in hoge temperaturen en zware omgevingen aantoont.

l Precieze structuur en uitstekende geleidbaarheid

Dichtheid: 10,28 g/cm³ (99% theoretisch), korrelgrootte <50μm, vlakheid ≤0,05 mm (Φ100 mm doel). Uitstekende geleidbaarheid van hoogzuiver Mo (weerstand 5,2 μΩ·cm) zorgt voor efficiënte stroomoverdracht tijdens het sputteren, wat de sputter-efficiëntie verbetert. Het precieze structurele ontwerp is compatibel met precisie-sputterapparatuur, wat de nauwkeurigheid en uniformiteit van de coating garandeert.

 Toepassingen van Molybdeen Sputterdoelen

l Halfgeleiderindustrie

Molybdeen doelen worden in de halfgeleiderindustrie gebruikt om bodemelektroden voor metaalsiliciumwafers te bereiden, wat zorgt voor stabiele stroom en de kwaliteit van de wafers garandeert.

l Displaypanelen

Molybdeen doel materiaal wordt gebruikt in liquid crystal displays (LCD's) om de helderheid, het contrast, de kleur en de levensduur te verbeteren.

l Fotovoltaïsche industrie

Mo Sputterdoelen worden gebruikt in de productie van zonnecellen als elektrodemateriaal, wat de conversie-efficiëntie verbetert.

l Low-emissiviteit glas

Molybdeen doelen worden gebruikt bij de productie van STN/TN/TFT-LCD's en low-emissiviteit glas, geschikt voor diverse coatingsystemen.