材料科学の継続的な進歩に伴い、モリブデンスパッタリングターゲットは様々な分野で重要な推進力となっています。モリブデンターゲットは、半導体、ディスプレイ、太陽光発電、ハイエンド製造分野で不可欠であり、産業革新を推進する独自の性能上の利点を提供します。
超高純度
モリブデンスパッタリングターゲットは通常、純度99.95%以上で、一部は5N(99.999%)に達します。FeやNiが<50ppm、Oが<200ppmといった極めて低い不純物含有量は、スパッタ膜の安定した電気的性能を保証し、半導体チップ製造のような高精度アプリケーションの強固な基盤を築きます。l高温耐酸化性
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精密構造と優れた導電性密度: 10.28 g/cm³(理論値の99%)、結晶粒径<50μm、平坦度≤0.05mm(Φ100mmターゲット)。高純度Moの優れた導電性(抵抗率5.2 μΩ·cm)は、スパッタリング中の効率的な電流伝送を保証し、スパッタリング効率を向上させます。精密な構造設計は高精度スパッタリング装置と互換性があり、コーティングの精度と均一性を保証します。
モリブデンスパッタリングターゲット
l半導体産業
モリブデンターゲットは半導体産業で金属シリコンウェーハのボトム電極作製に使用され、安定した電流を供給し、ウェーハ品質を保証します。l
モリブデンターゲット材料は液晶ディスプレイ(LCD)に使用され、明るさ、コントラスト、色、寿命を向上させます。
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Moスパッタリングターゲットは太陽電池製造で電極材料として使用され、変換効率を向上させます。
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モリブデンターゲットは、STN/TN/TFT-LCDおよび低放射ガラスの製造に使用され、様々なコーティングシステムに適しています。