เป้าหมายสปัตเตอร์โมลิบดีนัม (เป้าหมาย Mo สปัตเตอร์)

เป้าสปัตเตอริงโมลิบดีนัม ดาวรุ่งพุ่งแรงในวัสดุประสิทธิภาพสูง

ด้วยความก้าวหน้าอย่างต่อเนื่องของวิทยาศาสตร์วัสดุ เป้าสปัตเตอริงโมลิบดีนัมได้กลายเป็นตัวขับเคลื่อนสำคัญในหลากหลายสาขา เป้าสปัตเตอริงโมลิบดีนัมมีความสำคัญอย่างยิ่งในภาคส่วนเซมิคอนดักเตอร์ จอแสดงผล โฟโตโวลตาอิก และการผลิตระดับไฮเอนด์ โดยมอบข้อได้เปรียบด้านประสิทธิภาพที่เป็นเอกลักษณ์ซึ่งขับเคลื่อนนวัตกรรมในอุตสาหกรรม

คุณสมบัติที่ยอดเยี่ยมของเป้าสปัตเตอริงโมลิบดีนัม

l ความบริสุทธิ์สูงพิเศษ

เป้าสปัตเตอริงโมลิบดีนัมโดยทั่วไปมีความบริสุทธิ์สูง ≥99.95% บางชนิดสูงถึง 5N (99.999%) ปริมาณสิ่งเจือปนที่ต่ำมาก เช่น Fe และ Ni <50ppm และ O <200ppm ทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพทางไฟฟ้าที่เสถียรของฟิล์มที่สปัตเตอร์ ซึ่งเป็นรากฐานที่แข็งแกร่งสำหรับการใช้งานที่มีความแม่นยำสูง เช่น การผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์

l ทนทานต่อการออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง

ด้วยจุดหลอมเหลวสูงพิเศษที่ 2623°C การเพิ่มขึ้นของน้ำหนักจากการออกซิเดชันในอากาศที่ 1000°C คือ <0.1mg/cm² (100 ชั่วโมง) ตัวอย่างเช่น บริษัทโฟโตโวลตาอิกที่ใช้เป้า Mo ในการเตรียมฟิล์ม TCO ไม่พบความล้มเหลวหลังจากทดสอบ 500 ชั่วโมงภายใต้สภาวะ 85°C/85% RH แสดงให้เห็นถึงความเสถียรที่โดดเด่นในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อมที่รุนแรง

l โครงสร้างที่แม่นยำและการนำไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม

ความหนาแน่น: 10.28 g/cm³ (99% ของทฤษฎี) ขนาดเกรน <50μm ความเรียบ ≤0.05 มม. (เป้า Φ100 มม.) การนำไฟฟ้าที่ดีเยี่ยมของ Mo ความบริสุทธิ์สูง (ความต้านทาน 5.2 μΩ·cm) ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการถ่ายโอนกระแสไฟฟ้าที่มีประสิทธิภาพระหว่างการสปัตเตอร์ ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการสปัตเตอร์ การออกแบบโครงสร้างที่แม่นยำเข้ากันได้กับอุปกรณ์สปัตเตอร์ที่มีความแม่นยำสูง ทำให้มั่นใจในความแม่นยำและความสม่ำเสมอของการเคลือบ

 การใช้งานของเป้าสปัตเตอริงโมลิบดีนัม

l อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

เป้าโมลิบดีนัมถูกใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เพื่อเตรียมขั้วไฟฟ้าด้านล่างสำหรับเวเฟอร์ซิลิคอนโลหะ ให้กระแสไฟฟ้าที่เสถียรและรับประกันคุณภาพของเวเฟอร์

l แผงจอแสดงผล

วัสดุเป้าโมลิบดีนัมถูกใช้ในจอแสดงผลผลึกเหลว (LCD) เพื่อเพิ่มความสว่าง คอนทราสต์ สี และอายุการใช้งาน

l อุตสาหกรรมโฟโตโวลตาอิก

เป้าสปัตเตอริง Mo ถูกใช้ในการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์เป็นวัสดุขั้วไฟฟ้า เพิ่มประสิทธิภาพการแปลงพลังงาน

l กระจก Low-emissivity

เป้าโมลิบดีนัมถูกใช้ในการผลิต STN/TN/TFT-LCD และกระจก Low-emissivity เหมาะสำหรับระบบการเคลือบที่หลากหลาย