990,5% à 99,95% de pureté Titane Sputter cible Résistance à la corrosion Ti cible

Le titane cible, en tant que matériau de base de la technologie de dépôt de vapeur physique (PVD), est en train de renforcer profondément les industries stratégiques telles que les semi-conducteurs, les écrans,et de la santé grâce à sa pureté élevée et à son contrôle structurel précisSes avancées technologiques sont réalisées sur trois piliers stratégiques: l'optimisation des performances des matériaux, l'avant-garde des procédés de fabrication avancés,et l'expansion vers des applications à haute valeur ajoutée.

En termes de performances, les cibles en titane sont technologiquement supérieures à leurs homologues grâce au contrôle de la pureté au niveau atomique et à la régulation de la microstructure.Produits de qualité semi-conducteurs ayant une pureté de 5N-6N, et la teneur en impuretés est réduite de ppm à ppb, ce qui empêche efficacement la défaillance de l'électromigration.atteignant la limite théorique, avec une taille de grain ≤ 50 μm, assurant la planéité du film requise pour la lithographie EUV.

Excellentes caractéristiques de la cible en titane

Je... Bonnes propriétés mécaniques

Le titane a une résistance élevée et une faible densité, de sorte que les films de titane présentent des propriétés mécaniques supérieures dans diverses applications structurelles.

Je... Résistance à la corrosion

Le titane a une excellente résistance à la corrosion dans différents environnements chimiques.

Je... Stabilité à haute température

Le titane a une bonne stabilité à haute température, par conséquent, les films de titane sont largement utilisés dans les domaines à haute température tels que l'aérospatiale et l'énergie nucléaire.

Je... Propriétés décoratives

Le titane présente des propriétés décoratives exceptionnelles dérivées de la croissance contrôlée d'une couche d'oxyde passif.Les films sont utilisés dans les traitements de surface haut de gamme pour les produits de consommation, tels que les montres de précision.Les produits de haute qualité, tels que les lunettes et les bijoux, sont conçus pour obtenir des finitions durables et esthétiques, résistantes à l'usure et aux attaques chimiques.

Je... Résistance élevée

La résistivité du titane pur est significativement plus élevée (environ 42,0 × 10−8 Ω·m) à température ambiante que celle des conducteurs métalliques couramment utilisés (par exemple, Cu, Al).Le titane de haute pureté (tel que la qualité 4N5) est optimisé en minimisant les impuretés interstitielles (O, N et C) pour réduire la résistivité et maximiser la conductivité électrique.

Applications étendues de la cible au titane

Je... Fabrication de semi-conducteurs

Barrière de diffusion pour l'interconnectivité du Cu: en tant que couche de barrière de diffusion cruciale, le titane empêche les atomes de cuivre de migrer dans des substrats de silicium sensibles;fonctionne également comme un promoteur d'adhérence efficace, assurant une liaison solide entre les interconnexions en cuivre et les couches sous-jacentes.les exigences en matière de pureté et de qualité du film de titane sont de plus en plus strictes, ayant une incidence directe sur le rendement de fabrication des puces et les performances des appareils.

 Je... Panneaux d'affichage

Dans les réseaux TFT, il agit comme composant d'électrode (par exemple, Mo-Ti) ou couche clé de contact/adhésion ohmique.

Fournit une "fondation" de fixation solide pour les électrodes transparentes ITO.

 Je... Industrie photovoltaïque

Choix optimal pour les couches de contact arrière et d'adhérence des batteries à haut rendement

 Je... Fabrication d'appareils optiques

Le dépôt de films Ti ou TiO2 de haute pureté est essentiel pour des performances optiques supérieures dans les revêtements AR, les filtres et le verre auto-nettoyant.La pureté détermine les limites optiques en minimisant les pertes de diffusion et d'absorption de la lumière, assurant une fonctionnalité efficace dans tous les systèmes avancés.