99,5% - 99,95% Zuiverheid Titanium Sputter Target Corrosiebestendigheid Ti Target

Titanium-target, als kernmateriaal in de fysieke dampdepositie (PVD) -technologie, is de strategische industrieën zoals halfgeleiders, displays,en gezondheidszorg door zijn hoge zuiverheid en precieze structurele controleDe technologische doorbraken worden gerealiseerd op basis van drie strategische pijlers: de optimalisatie van de materiële prestaties, de pioniersrol van geavanceerde productieprocessen,de uitbreiding naar toepassingen met een hoge waarde.

In termen van prestaties hebben titaniumdoelen technologisch de overhand over andere tegenhangers door zuiverheidscontrole op atoomniveau en micro-structureregulatie.producten van halfgeleiderkwaliteit met een zuiverheid van 5N-6N, en het onzuiverheidsgehalte wordt verlaagd van ppm naar ppb-niveaus, waardoor het elektromigratiefalen effectief wordt voorkomen.de theoretische grens bereikt, met een korrelgrootte van ≤ 50 μm, waardoor de voor EUV-litografie vereiste vlakheid van de film wordt gewaarborgd.

Uitstekende kenmerken van titaniumdoel

Ik... Goed mechanisch vermogen

Titanium heeft een hoge sterkte en een lage dichtheid, zodat titaniumfolie superieure mechanische eigenschappen vertoont in verschillende structurele toepassingen.

Ik... Corrosiebestendigheid

Titanium heeft een uitstekende corrosiebestendigheid in verschillende chemische omgevingen.

Ik... Hoge temperatuurstabiliteit

Titanium heeft een goede stabiliteit bij hoge temperaturen, daarom worden titaniumfolie's veel gebruikt in hoogtemperatuurgebieden zoals lucht- en ruimtevaart en kernenergie.

Ik... Decoratieve eigenschappen

Titanium vertoont uitzonderlijke decoratieve eigenschappen die voortvloeien uit de gecontroleerde groei van een passieve oxidelaag.Deze films worden gebruikt voor hoogwaardige oppervlaktebehandelingen van consumentenproducten, zoals precisiehorloges., bril en juwelen om duurzame, esthetisch aantrekkelijke afwerkingen te bereiken met een hoge slijtvastheid en chemische aanvallen.

Ik... Hoge weerstand

De resistiviteit van puur titanium is aanzienlijk hoger (ongeveer 42,0 × 10−8 Ω·m) bij kamertemperatuur dan die van veelgebruikte metalen geleiders (bv. Cu, Al).Het hoogzuivere titanium (zoals 4N5-klasse) wordt geoptimaliseerd door interstitiële onzuiverheden (O) te minimaliseren., N en C) om de weerstand te verminderen en de elektrische geleidbaarheid te maximaliseren.

Brede toepassingen van titaniumdoelen

Ik... Vervaardiging van halfgeleiders

Difusiebarrière voor Cu-interconnectiviteit: als cruciale diffusiebarrièrelaag voorkomt titanium dat koperatomen migreren naar gevoelige siliciumsubstraten.functioneert ook als een effectieve hechting promotor, waardoor een robuuste binding tussen koperen interconnecties en de onderliggende lagen wordt gewaarborgd.de eisen voor titaniumdoel zuiverheid en filmkwaliteit worden steeds strenger, die rechtstreeks van invloed zijn op de chipproductie en de prestaties van het apparaat.

 Ik... Display panels

In TFT-arrays fungeert het als elektrodecomponenten (bv. Mo-Ti) of belangrijke ohmcontact/adhesieschaal.

Voorziet in een sterke bevestigingsbasis voor ITO-transparante elektroden.

 Ik... Fotovoltaïsche industrie

Optimale keuze voor efficiënte batterij-achtercontact- en adhesielagen

 Ik... Vervaardiging van optische apparaten

Een hoogzuivere afzetting van Ti- of TiO2-films is essentieel voor een superieure optische prestatie in AR-coatings, filters en zelfreinigend glas.De zuiverheid bepaalt de optische grenzen door lichtverspreiding en absorptieverliezen te minimaliseren, waardoor een efficiënte werking in alle geavanceerde systemen wordt gewaarborgd.