990,5% - 99,95% Purezza Titanio Sputter Target Resistenza alla corrosione Ti Target

Il bersaglio in titanio, come materiale fondamentale nella tecnologia di deposizione fisica da vapore (PVD), sta potenziando profondamente settori strategici come quello dei semiconduttori, dei display e della sanità attraverso la sua elevata purezza e il controllo strutturale preciso. Le sue innovazioni tecnologiche si realizzano attraverso tre pilastri strategici: l'ottimizzazione delle prestazioni del materiale, la pionieristica di processi di produzione avanzati e l'espansione in applicazioni ad alto valore.

In termini di prestazioni, i bersagli in titanio prevalgono tecnologicamente sugli altri grazie al controllo della purezza a livello atomico e alla regolazione della microstruttura. I prodotti di grado semiconduttore hanno una purezza di 5N-6N e il contenuto di impurità è ridotto da ppm a ppb, il che previene efficacemente il cedimento per elettromigrazione. Il bersaglio in Ti raggiunge una densità controllata con precisione di 4,506-4,51 g/cm³, raggiungendo il limite teorico, con una dimensione del grano di ≤50 µm, garantendo la planarità del film come richiesto per la litografia EUV.

Eccellenti Caratteristiche del Bersaglio in Titanio

l Buone Proprietà Meccaniche

Il titanio ha un'elevata resistenza e bassa densità, quindi i film di titanio presentano proprietà meccaniche superiori in varie applicazioni strutturali.

l Resistenza alla Corrosione

Il titanio ha un'eccellente resistenza alla corrosione in diversi ambienti chimici. I film di Ti forniscono una protezione efficace in ambienti marini, acidi e alcalini, ecc.

l Stabilità ad Alta Temperatura

Il titanio ha una buona stabilità ad alte temperature, quindi i film di titanio sono ampiamente impiegati in campi ad alta temperatura come l'aerospaziale e l'energia nucleare.

l Proprietà Decorative

Il titanio presenta eccezionali proprietà decorative derivanti dalla crescita controllata di uno strato di ossido passivo. I film sono utilizzati nei trattamenti superficiali di alta gamma per prodotti di consumo, come orologi di precisione, occhiali e gioielli, per ottenere finiture durevoli ed esteticamente gradevoli con elevata resistenza all'usura e agli attacchi chimici.

l Elevata Resistività

La resistività del titanio puro è significativamente più alta (circa 42,0 × 10⁻⁸ Ω·m) a temperatura ambiente rispetto a quella dei conduttori metallici comunemente utilizzati (ad es. Cu, Al). Il titanio ad alta purezza (come il grado 4N5) è ottimizzato minimizzando le impurità interstiziali (O, N e C) per ridurre la resistività e massimizzare la conduttività elettrica.

Ampie Applicazioni del Bersaglio in Titanio

l Produzione di Semiconduttori

Barriera di Diffusione per l'Interconnessione di Cu: Come strato barriera di diffusione cruciale, il titanio impedisce agli atomi di rame di migrare nei substrati di silicio sensibili; funge anche da efficace promotore di adesione, garantendo un legame robusto tra le interconnessioni di rame e gli strati sottostanti. Con l'avanzamento dei processi dei chip (7nm, 5nm, 3nm e oltre), i requisiti per la purezza del bersaglio in titanio e la qualità del film diventano sempre più stringenti, influenzando direttamente la resa di produzione dei chip e le prestazioni dei dispositivi.

 l Pannelli Display

Nelle matrici TFT, agisce come componenti di elettrodi (ad es. Mo-Ti) o come strati chiave di contatto ohmico/adesione.

Fornisce una solida "fondazione" di attacco per gli elettrodi trasparenti ITO.

 l Industria Fotovoltaica

Scelta ottimale per contatti posteriori e strati di adesione di batterie ad alta efficienza.

 l Produzione di Dispositivi Ottici

La deposizione ad alta purezza di film di Ti o TiO₂ è essenziale per prestazioni ottiche superiori nei rivestimenti AR, nei filtri e nei vetri autopulenti. La purezza determina i limiti ottici minimizzando la diffusione della luce e le perdite per assorbimento, garantendo un funzionamento efficiente in tutti i sistemi avanzati.