99.5٪ - 99.95٪ نقاء التيتانيوم الهدف البصاق المقاومة للتآكل

هدف التيتانيوم، كمادة أساسية في تقنية الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD)، يمكّن الصناعات الاستراتيجية مثل أشباه الموصلات والشاشات والرعاية الصحية من خلال نقاوته العالية وتحكمه الهيكلي الدقيق. تتحقق اختراقاته التكنولوجية عبر ثلاثة محاور استراتيجية: تحسين أداء المواد، وريادة عمليات التصنيع المتقدمة، والتوسع في التطبيقات ذات القيمة العالية.

من حيث الأداء، تتفوق أهداف التيتانيوم تقنيًا على نظيراتها الأخرى من خلال التحكم في النقاء على المستوى الذري وتنظيم البنية المجهرية. تتمتع منتجات درجة أشباه الموصلات بنقاء 5N-6N، ويتم تقليل محتوى الشوائب من مستويات جزء في المليون إلى جزء في المليار، مما يمنع بشكل فعال فشل الهجرة الكهربائية. يصل هدف Ti إلى كثافة يتم التحكم فيها بدقة تبلغ 4.506-4.51 جم/سم مكعب، وتصل إلى الحد النظري، مع حجم حبيبات ≤50 ميكرومتر، مما يضمن تسطيح الفيلم كما هو مطلوب لطباعة EUV.

ميزات ممتازة لهدف التيتانيوم

تصنيع الأجهزة البصرية خصائص ميكانيكية جيدة

يتمتع التيتانيوم بقوة عالية وكثافة منخفضة، لذلك تظهر أفلام التيتانيوم خصائص ميكانيكية فائقة في تطبيقات هيكلية مختلفة.

تصنيع الأجهزة البصرية مقاومة التآكل

يتمتع التيتانيوم بمقاومة ممتازة للتآكل في بيئات كيميائية مختلفة. توفر أفلام Ti حماية فعالة في مياه البحر والبيئات الحمضية والقلوية، إلخ.

تصنيع الأجهزة البصرية استقرار درجة الحرارة العالية

يتمتع التيتانيوم باستقرار جيد في درجات الحرارة العالية، وبالتالي، تُستخدم أفلام التيتانيوم على نطاق واسع في المجالات ذات درجات الحرارة العالية مثل الفضاء والطاقة النووية.

تصنيع الأجهزة البصرية خصائص زخرفية

يُظهر التيتانيوم خصائص زخرفية استثنائية مشتقة من النمو المتحكم فيه لطبقة أكسيد خاملة. تُستخدم الأفلام في معالجات الأسطح المتطورة للمنتجات الاستهلاكية - مثل الساعات الدقيقة والنظارات والمجوهرات - لتحقيق تشطيبات متينة وجذابة بصريًا مع مقاومة عالية للتآكل والهجوم الكيميائي.

تصنيع الأجهزة البصرية مقاومة عالية

مقاومة التيتانيوم النقي أعلى بكثير (حوالي 42.0 × 10⁻⁸ أوم متر) عند درجة حرارة الغرفة مقارنة بالموصلات المعدنية شائعة الاستخدام (مثل النحاس والألمنيوم). يتم تحسين التيتانيوم عالي النقاء (مثل درجة 4N5) عن طريق تقليل الشوائب البينية (O، N، و C) لتقليل المقاومة وزيادة الموصلية الكهربائية.

تطبيقات واسعة لهدف التيتانيوم

تصنيع الأجهزة البصرية تصنيع أشباه الموصلات

حاجز الانتشار لتوصيل النحاس: كطبقة حاجز انتشار حاسمة، يمنع التيتانيوم ذرات النحاس من الهجرة إلى ركائز السيليكون الحساسة؛ كما أنه يعمل كمحفز التصاق فعال، مما يضمن رابطًا قويًا بين وصلات النحاس والطبقات الأساسية. مع تقدم عمليات الرقائق (7 نانومتر، 5 نانومتر، 3 نانومتر، وما بعدها)، تصبح متطلبات نقاء هدف التيتانيوم وجودة الفيلم أكثر صرامة، مما يؤثر بشكل مباشر على إنتاجية تصنيع الرقائق وأداء الجهاز.

 تصنيع الأجهزة البصرية لوحات العرض

في مصفوفات TFT، تعمل كمكونات أقطاب كهربائية (مثل Mo-Ti) أو طبقات اتصال/التصاق رئيسية. توفر "أساس" التصاق قوي لأقطاب ITO الشفافة.

l

 تصنيع الأجهزة البصرية خيار مثالي لطبقات الاتصال الخلفية وطبقات الالتصاق عالية الكفاءة للبطاريات

l

 تصنيع الأجهزة البصرية الترسيب عالي النقاء لأفلام Ti أو TiO2 ضروري لأداء بصري فائق في طلاءات AR والمرشحات والزجاج ذاتي التنظيف. يحدد النقاء الحدود البصرية عن طريق تقليل تشتت الضوء وفقدان الامتصاص، مما يضمن وظائف فعالة في جميع الأنظمة المتقدمة.