Silikon-Spruttering-Ziel (Si-Spruttering-Ziel)

Zielmaterial für hochreines Silizium-Sputtern: Kernmaterial für die Dünnschichtdeposition

Das Zielmaterial wird in physikalischen Dampfdeponierungsprozessen (PVD) verwendet, hauptsächlich zur Ablagerung von mittleren Schichten wie Siliziumoxid, Siliziumnitrid und Siliziumhydrid.Es kann in kristallines Silizium und HSi-Typen unterteilt werden. Silizium-Sputtering-Ziele sind typischerweise dunkelgrau mit einem halbmetallischen Aussehen und einer Dichte von etwa 2,33 g/cm3. Der Schmelzpunkt von Silizium ist 1414 °C und sein Siedepunkt 3265 °C.Silizium weist einen hohen Wärmeleitkoeffizienten (149 W·m−1·K−1) und eine ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit aufDarüber hinaus weist das Zielmaterial aus Silizium eine gute Härte, optische Eigenschaften, Verschleißbeständigkeit und hervorragende Korrosionsbeständigkeit auf.

Ausgezeichnete Eigenschaften des Zielmaterials für Siliziumspritzen:

Ich... Hohe Reinheit sorgt für eine stabile Dünnschicht

Kristallines Silizium hat eine Reinheit von 99,999%, während HSi-Reinheit 99,99% ist

Ich... Ausgezeichnete Dünnschichtgleichheit und -dichte

Silicon Sputtering Targets haben eine hohe Sputtereffizienz und sind mit verschiedenen Vakuumbeschichtungsanlagen im PVD-Prozess kompatibel.Siliziumatome haben eine gute Haftung an gängigen Substraten (wie Glas), Metall, Siliziumwafer), die stabile, nicht schälende Folien bilden, die hohen Zuverlässigkeitsanforderungen entsprechen.

Ich... Gute Sputterrate und Haftung

Die gute Wärmeleitfähigkeit von Silizium hilft, die Wärme von der Zieloberfläche schnell abzuleiten und lokale Überhitzung zu verhindern.Hilfe bei der effizienten Filmdeposition.

 Weite Anwendungsbereiche von Zielmaterial für Siliziumspritzen

Ich... Herstellung optischer Geräte

Hohe Reinheit: Silikonspritzerziele sorgen für die Klarheit, Stabilität und Genauigkeit optischer Geräte und verbessern ihre Leistung und Zuverlässigkeit.Im Bereich der Glasfaserkommunikation undintegrierte optische Schaltungen, Siliziumdioxidfolien werden als Wellenleitmaterialien zur Übertragung und Verarbeitung optischer Signale verwendet.

Ich... Herstellung von Halbleitern

Verwendet zur Vorbereitung von Substraten und Verpackungsmaterialien für LEDs, wodurch die Lichtwirksamkeit und Stabilität von LEDs verbessert werden.

Ich... Herstellung von Sensoren

Bei der Herstellung von Sensorelementen und Signalverarbeitungsschaltungen verwendet, um die Empfindlichkeit und Genauigkeit von Sensoren zu erhöhen

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Bitte geben Sie die Materialqualität, die erforderliche Reinheit, die Zieldimensionen, die Menge und die Anforderungen an die Verklebung an, wennKontaktaufnahme mit der APGErforschen Sie unsereSputterzielefür verwandte Materialien.