Bersaglio di sputtering al silicio (bersaglio di sputtering Si)  

Materiale bersaglio per lo sputtering di silicio ad alta purezza: Materiale di base per la deposizione di pellicole sottili

Il materiale bersaglio è utilizzato nei processi di deposizione fisica di vapore (PVD), principalmente per depositare strati medi come ossido di silicio, nitruro di silicio e idruro di silicio.Può essere suddiviso in silicio cristallino e tipi HSiGli obiettivi di sputtering del silicio sono in genere grigi scuri con un aspetto semimetallico e una densità di circa 2,33 g/cm3. Il punto di fusione del silicio è 1414°C e il suo punto di ebollizione è 3265°C.Il silicio ha un elevato coefficiente di conduttività termica (149 W·m−1·K−1) ed un'eccellente conduttività termicaInoltre, il materiale bersaglio del silicio ha una buona durezza, proprietà ottiche, resistenza all'usura ed eccellente resistenza alla corrosione.

Eccellenti proprietà del materiale bersaglio per lo sputtering in silicio:

Io... L'alta purezza garantisce prestazioni di film sottile stabili

Il silicio cristallino ha una purezza del 99,999%, mentre la purezza HSi è del 99,99%

Io... Eccellente uniformità e densità del film sottile

Gli obiettivi di sputtering in silicio hanno un'elevata efficienza di sputtering e sono compatibili con varie apparecchiature di rivestimento a vuoto nel processo PVD.Gli atomi di silicio hanno una buona adesione ai substrati comuni (come il vetro), metallo, wafer di silicio), che formano film stabili e non sbuccianti che soddisfano elevati requisiti di affidabilità.

Io... Buono tasso di sputtering e adesione

La buona conduttività termica del silicio aiuta a dissipare rapidamente il calore dalla superficie bersaglio, evitando il surriscaldamento locale.aiuta nella deposizione efficiente della pellicola.

 Ampie applicazioni del materiale bersaglio per lo sputtering in silicio

Io... Fabbricazione di apparecchi ottici

Alta purezza: gli obiettivi di sputtering in silicio garantiscono la chiarezza, la stabilità e l'accuratezza dei dispositivi ottici, migliorando le loro prestazioni e affidabilità.Nel settore delle comunicazioni in fibra ottica ecircuiti ottici integrati, le pellicole di biossido di silicio sono utilizzate come materiali di guida d'onda per trasmettere e elaborare segnali ottici.

Io... Fabbricazione di semiconduttori

Utilizzato per la preparazione di substrati e materiali di imballaggio per i LED, migliorando l'efficienza luminosa e la stabilità dei LED.

Io... Fabbricazione di sensori

Utilizzato nella produzione di elementi sensori e circuiti di elaborazione del segnale, migliorando la sensibilità e la precisione dei sensori

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